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超短パルスレーザ TruMicro 9000シリーズ

TruMicro 9000シリーズ

広大な面積のマイクロ加工を1 kWの出力で画期的に行う当パイオニア

1000 W 平均出力
1030 nm 波長
1 - 20 ps パルス幅
10 mJ(100 kHzの場合) 最大パルスエネルギー

大面積マイクロ加工

– 1 kWのレーザパワーを使用

TruMicroシリーズ9000は、超短パルスレーザとして世界初となる1 kWのレーザパワーを実現します。高い繰り返し周波数と組み合わせることで、大面積のマイクロ加工が可能になります。適切なスキャナを使用すれば、最大毎秒1 kmの速度でコンポーネント上にパルスを照射し、高い繰り返し周波数を高速な加工速度へとつなげることができます。また、ビームスプリッタやビーム整形素子を使用して、高いレーザパワーを複数の加工領域に分配することも可能です。これにより、構造化、清掃、除去、切断などの加工プロセスを、最大で平方メートル規模まで経済的にスケールアップできます。

TruMicro 9000シリーズの特色

– 特長一覧
平方メートル規模まで、大面積をマイクロ加工
平方メートル規模まで、大面積をマイクロ加工

超短パルスレーザとして世界最高クラスの1 kWのレーザパワーにより、これまでにない加工速度でワークを加工できます。これにより、平方メートル単位の大面積でもマイクロ加工を経済的に実現できます。生産ラインの処理能力を高めるとともに、これまでマイクロ加工の適用が難しかった用途にも、その可能性を広げます。

1台のレーザ装置で多様な加工プロセスに対応
1台のレーザ装置で多様な加工プロセスに対応

TruMicro シリーズ 9000は、最大10ミリジュールのパルスエネルギーと高い繰り返し周波数を両立しています。そのため、1台のレーザ装置で、同一設備内のさまざまな加工工程に対応できます。高速加工には高い繰り返し周波数を、脆性材料など大きなエネルギーを必要とする用途には高いパルスエネルギーを活用できます。要求ごとに複数のレーザ装置を用意する必要がありません。

高速生産ラインに最適 - ロール ツー ロール方式にも対応
高速生産ラインに最適 - ロール ツー ロール方式にも対応

高い加工速度を実現できるTruMicro シリーズ 9000は、ロール ツー ロール方式の加工にも最適です。この方式では、プラスチックフィルムや金属箔、薄板ガラスなどの大面積の基材を連続的に巻き出し、加工した後、再び巻き取ります。

産業用途での持続モードでも安定した加工結果
産業用途での持続モードでも安定した加工結果

TruMicro シリーズ 9000は、厳しい生産条件下でも安定した加工結果を実現します。M²=1.2という高いビーム品質により、エネルギーを均一に照射でき、安定したパルスによって再現性の高い加工が可能です。また、長時間の持続モードでも安心して使用できます。電子機器、増幅器、ビーム伝送系には、TRUMPFの超短パルスレーザで実績のあるモジュールを採用しています。

パルス周波数を最適化し、あらゆるコンターを高精度に加工
パルス周波数を最適化し、あらゆるコンターを高精度に加工

Advanced Pulse on Demand機能により、TruMicro シリーズ 9000は必要なタイミングでレーザパルスを正確に照射します。フィード速度が変化しても、パルス間隔を一定に保ちます。例えば、レーザ光の走査速度が低下する曲線部分でも、パルスが過度に重なりません。そのため、サブマイクロメートルレベルの位置分解能で、目的のコンターに沿ってパルスを正確に配置できます。これにより、速度や方向が頻繁に変化する短く複雑なコンターでも、均一で再現性の高い加工結果が得られます。ディスプレイの微細な溝などの加工にも適しています。

その他のメリット

  • PLeの安全性と信頼性

    TruMicro シリーズ 9000のレーザは、最高レベルの安全性能であるパフォーマンスレベルe (PLe) に適合しています。冗長性のあるセーフティシステムと素早いエラー検出により、レーザで追加措置を講じることなく、生産現場での安全性が高まります。

TruMicroシリーズ9000の用途

– 期待できる効果

TruMicroシリーズ9000は、要求の厳しい切断、マイクロ加工、表面加工において、高精度と高速性を両立します。大面積の加工や24時間365日の産業用連続運転にも対応します。そのため、半導体、バッテリー、燃料電池の製造をはじめ、航空宇宙分野の用途にも適しています。

フィルム、ウェハー、ディスプレイの高速加工

フィルム、ウェハー、ディスプレイの高速加工

フィルム、ウェハー、紙、布地、ディスプレイなどの大面積材料では、加工速度が生産の経済性を左右します。特に大面積を加工する場合、必要な処理能力を確保するには、レーザにも相応の高速性が求められます。

TruMicro シリーズ 9000の高出力により、マイクロ加工の高速化と大面積化を実現します。これまでマイクロ加工では採算が合わなかった工程も、経済的に実施できるようになります。

高速な微細穴あけ加工

高速な微細穴あけ加工

大面積のワークに、短時間で多数の微細な穴や構造を形成する必要があります。例えば、食品産業向けの微細孔フィルターや、バッテリー上の微細構造などが挙げられます。

TruMicro シリーズ 9000は、最大50 MHzの繰り返し周波数と毎秒50 mのスキャナ速度により、市場でも類を見ない速度で微細構造を形成します。特に多数の穴を加工する場合は、適切な光学系を使用してレーザ光をさらに分割できます。これにより、数百個の微細穴を同時に形成できます。

層を選択的に除去

層を選択的に除去

燃料電池のバイポーラプレートに付着した汚染物質や粒子を、時間のかかる機械的 化学的処理を行わずに、層ごとに高速で除去したい場合に適しています。

TruMicro シリーズ 9000は、高いパルスエネルギーにより、毎秒約40 cm²の面積を加工できます。これにより、プロセス時間を大幅に短縮できます。

パワーエレクトロニクス向けの導体パターン形成

パワーエレクトロニクス向けの導体パターン形成

ガラス、銅、金、セラミックなど、さまざまな材料の表面に高精度なエングレービング、彫刻、クリーニングを施し、グレア防止効果などの特定の機能を付与する必要がある場合に適しています。

TruMicro シリーズ 9000の超短パルスにより、表面の特性を狙いどおりに変化させ、求める機能を付与できます。高いパルスエネルギーとエネルギー安定性を組み合わせることで、ビーム整形素子を使用してエネルギーを広い面積に分配することも可能です。これにより、大面積加工でも高い加工速度を実現できます。

レーザ反射光の生成

レーザ反射光の生成

相対論的電子から中性子までの粒子や、深紫外光からコヒーレントな硬X線までの短波長電磁放射を生成したい場合に適しています。用途の例として、イメージング技術が挙げられます。同時に、高い処理能力を実現するための照射時間の短縮に加え、24時間365日の持続モードでも、再現性と長期安定性に優れたプロセスが求められます。

TruMicro シリーズ 9000は、高いパルスエネルギーと超短パルスを組み合わせることで、高いピーク強度を実現します。これにより、効率的な周波数変換や、レーザ誘起プラズマによるさまざまなレーザ反射光の生成が可能になります。さらに、TruMicro シリーズ 9000は、キロワット級の出力を備えた初の産業用途対応超短パルスレーザとして、高い処理能力を実現します。

すべてがTRUMPFから提供されるワンシステム

– このレーザで利用可能なコンポーネントとサービスをご覧ください

レーザだけではソリューションにはなりません。高精度の光学系、インテリジェントなセンサー、ニーズにピタリと合うサービスを組み合わせて初めて、用途を実現して確実なプロセスを可能にするシステムが生み出されます。TRUMPFをパートナーにすれば、テクノロジーだけでなく、確かな加工結果ももたらされ、生産現場が飛躍的にレベルアップし、成果が長期的に得られ、投資する価値のあるソリューションが提供されることになります。

打ち合わせ中のTRUMPFサービスエンジニア

設備の稼働率を最大限に高めるサービス

中断のない生産に貢献

一覧

ダウンタイムは最低限に抑えなければなりません。生産が停止すると、時間とコストがかかり、最悪の場合には顧客喪失にもつながってしまいます。当社は洗練されたサービスでお客様をサポートして、レーザとレーザ装置が使用可能な状態を常に維持できるようにしています。それには、先を見越した状態監視、緊急時の素早いサポート、計算可能な固定料金での個別サービスパッケージが含まれており、お客様のニーズにピタリと合わせてカスタマイズすることが可能です。

コンディションモニタリングキービジュアル

レーザおよびレーザ装置のコンディションモニタリング

コンディションモニタリングでは、TRUMPFのエキスパートが自社独自のアルゴリズムを使用しながら、お客様のレーザの状態を連続監視します。重大な変化が起きた場合には、予期せぬ生産停止に至る前に早めに検出されます。

Condition Monitoring, Servicetechniker repariert Maschine

技術カスタマーサービス

生産拠点の場所を問わず、万が一の事態に陥った場合には、当社のサービスエンジニアがお客様を素早くサポートします。当社のエンジニアはトレーニングを定期的に受けているほか、メーカーの確かなノウハウと優れた専門知識も有しており、お客様のレーザとレーザ装置をすぐに再び使用可能な状態にします。

リモートサポート

1分1秒を争う故障時に、TRUMPFのリモートサポートを利用すれば、当社のエキスパートから安全なリモートアクセスを介してすぐにサポートを受けることができます。サービスエンジニアが移動する必要も、その到着を待つ必要もありません。

TRUMPFサービス純正パーツキービジュアル

純正スペアパーツ

TRUMPF純正パーツは、ご使用中のレーザおよびレーザ装置と完璧に調和が取れており、世界中で入手可能で、緊急時にすぐにお手元に届きます。最大限の性能が発揮され、ダウンタイムが最低限に抑えられるため、安心して長期的に投資することができます。

TRUMPF保守契約キービジュアル

保守契約

必要に応じたサービスが受けられる当社の保守契約では、お客様のニーズにピタリと合わせてカスタマイズした数段階のサービスパッケージが、計算可能な固定料金で提供されています。リモートサポート、メンテナンス、そしてフルサービスパッケージが用意されています。

パフォーマンスを最適化するサービス

最大限の性能が発揮されるように

一覧

生産設備が持つ能力をより一層活用しようとしても、不明瞭なデータ、複雑な要件や予期せぬエラーが原因で、生産量が伸びないことが少なくありません。 この課題の克服に役立つ当社のソリューションでは、体系的なデータ管理、それぞれの状況に応じたアプリケーションサポート、トレーニングやAIベースのプロセス最適化が提供されています。これを利用すれば、工程が改善され、ミスが減り、新しい課題により柔軟に対応できるようになります。

プロセス最適化

アプリケーションセンターでのコンサルティング

当社では世界中の8拠点にあるレーザアプリケーションセンターで、お客様のプロセスを共同で最適化し、用途別の課題を解決して、品質の維持、立ち上げ期間の短縮、市場投入のスピードアップにつながる基盤を確立しています。

レーザがご自身のプロジェクトに合っているでしょうか?
一緒に突き止めましょう!

当社のレーザアプリケーションセンター(LAC)では、それぞれの用途に最適なパラメーターをお客様と共同で突き止めています。直にご自身の部品を使用して行うことも可能です。

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質問、アイデアや具体的な計画がおありですか?
お気軽にお問い合わせください!

技術仕様、価格やそれぞれの状況に応じた要件など、どのようなテーマであっても当社はお客様の役に立つ回答を提供しています。

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短パルス及び超短パルスレーザカタログ 短パルス及び超短パルスレーザカタログ

TRUMPFのTruMicro短パルス及び超短パルスレーザの全製品一覧です。

TruMicro 9010リーフレット TruMicro 9010リーフレット

TruMicroシリーズの比較

製品 TruMicro 9010

TruMicro 9000シリーズ

広大な面積のマイクロ加工を1 kWの出力で画期的に行う当社のパイオニア
TruMicro 6000シリーズ、製品画像

TruMicro 6000シリーズ

連続生産で最大限の処理量と高い剥離速度が実現するパワフルなフェムト秒レーザ
TruMicro 2000シリーズ

TruMicro 2000シリーズ

加工パラメーターが非常に柔軟に調整可能で、精緻なマイクロ加工に適したコンパクトな精密加工用レーザ
平均出力 1000 W 30 W - 200 W 10 W - 20 W
波長 1030 nm 343 nm, 515 nm, 1030 nm 515 nm, 1030 nm
ビーム品質 (M²) < 1.3 < 1.3 (オプション ≤ 1.2) < 1.2 (<1.3 bei 515 nm)
パルス幅 1 ps (オプションで1~20 psの範囲に固定) < 850 fs (オプション:1030 nmで < 5 ps、343 nmで < 500 fs) < 350 fs  (1030 nm、パルス幅は最大20 psまで可変設定可能)
最大パルス エネルギー 10 mJ 100 kHzの場合 2 mJ 100 kHzの場合 100 µJ 200 kHzの場合
繰り返し周波数 シングルショットから 1 MHz 最大50 MHz(QCWオプション使用時) シングルショットから 3 MHz 最大50 MHz(QCWオプション使用時) シングルショットから  2 MHz 最大50 MHz(QCWオプション使用時)

国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。