Soevereine handling van veeleisende processen
De TruPlasma DC-serie 4000 (G2) is speciaal ontwikkeld voor reactief DC-sputteren met moeilijke materialen. De met pulserende gelijkstroom werkende generatoren hebben zichzelf met name bewezen in kritische PVD- en PECVD-processen, waarbij tegelijkertijd maximale coatingkwaliteit en productiviteit verlangd worden. De compacte DC-processtroomtoevoer is zowel te gebruiken bij pulserend als bij biasbedrijf, zo hebt u twee apparaten in één behuizing!
Digitale signaalverwerking garandeert stabiele processen en minimaal tijdverlies door vlambogen.
Snelle vlamboogbehandeling in combinatie met DC-pulstechnologie minimaliseert substraatbeschadigingen.
Dankzij een breed frequentiespectrum en aanpasbare sperspanning.
De geïntegreerde waterkoeling bespaart ruimte en reduceert onderhoudstijden.
Hardmateriaalcoating
Door het aanbrengen van een functionele coating krijgen veeleisende werkstukken een verhoogde randhardheid en statische frictie en een betere thermische en chemische stabiliteit. De pulsgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 (G2) zorgen voor een stabiel plasmaproces en dus voor een optimale coatingkwaliteit.
Metalisering
Door middel van een PVD-proces kunnen heel dunne metalen coatings worden aangebracht op verschillende materialen, om ze zo optimale optische en elektrische eigenschappen te geven. Een optimaal aan de procesparameters aangepaste stroomtoevoer maakt afscheiding van absoluut homogene, defectloze coatings mogelijk.
Productie van zonnecellen
Ter beïnvloeding van hun elektrische eigenschappen worden zonnecellen, maar ook flatscreens en touchscreens, gecoat met elektrisch geleidend materiaal (TCO). Door hun zeer lage vlamboogenergie zijn de pulsgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 (G2) hiervoor perfect geschikt.
Architecturaal glas
Het coaten van grote oppervlakken architecturaal glas in een PVD-plasmaproces stelt zeer hoge eisen aan de processtroomtoevoer. De pulsgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 (G2) bieden de ideale voorwaarden voor een hoogwaardig coatingresultaat.
TruPlasma DC 4010 (G2)
|
TruPlasma DC 4020 (G2)
|
TruPlasma DC 4040 (G2)
| |
|---|---|---|---|
| Uitgang | |||
| Nominaal vermogen | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
| Maximale uitgangsstroom | 33 A eff | 67 A eff | 133 A eff |
| Maximale uitgangsspanning | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Nominale bedrijfsfrequentie | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Arc-parameter | |||
| Maximale Arc-rate | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc-energie | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW |
| Arc-behandeltijd | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs |
| Ontstekingsspanningen | |||
| met hulpontsteking | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
| zonder hulpontsteking | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
| Netaansluitgegevens | |||
| Netspanning | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V |
| Netfrequentie | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Communicatie-interfaces | |||
| Analoog/digitaal | Ja | Ja | Ja |
| RS 232/RS 485 | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja |
| EtherCAT | Nee | Nee | Nee |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja |
| Behuizing | |||
| Gewicht | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
| Beschermingsgraad IP | 40 | 40 | 40 |
| Koelingsvereisten | |||
| Koelmedium | Water | Water | Water |
| Max. waterdruk | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. drukverschil | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. doorstroomhoeveelheid | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
| Temperatuur koelmiddel | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| DC aansluitgegevens | |||
| Aantal terminals | 3 | 3 | 3 |
| Nominale stroom/terminal | 25 A | 45 A | 85 A |
| Algemeen | |||
| Totaal rendement | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certificaten/standaards | CE | CE | CE |
| Omgevingsvoorwaarden | |||
| Buitentemperatuur | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Luchtvochtigheid | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrische druk | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
De technische gegevens van alle productvarianten als download.
Hoge coatingkwaliteit en productiviteit
De combinatie van snelle vlamboogbehandeling en DC-pulstechnologie leidt tot een lagere druppelratio en minder oppervlaktedefecten. Procesonderbrekingen door vlambogen worden geminimaliseerd, de afscheidingssnelheid wordt aanzienlijk verhoogd.
Flexibele aanpassing aan het proces
De pulsfrequentie kan in een breed bereik worden aangepast, bovendien is een biasbedrijf van de DC-generator mogelijk. Zo kunt u hetzelfde apparaat gebruiken voor veel verschillende toepassingen. Geperfectioneerde monitoringhulpmiddelen ondersteunen u bij de optimalisatie van uw proces.
Verschillende opties maken een optimale aanpassing van de DC-pulsgenerator aan uw toepassing mogelijk.
Meerdere gelijkstroomgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 (G2) kunnen synchroon worden gebruikt. In deze modus is het mogelijk de vlamboogherkenning van meerdere generatoren die op verschillende targets zijn uitgelijnd te synchroniseren. Ook de pulsmodus kan worden gesynchroniseerd.
PVD Power
De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
