Innovatief, modulair, schaalbaar: het nieuwe generatorplatform van TRUMPF Hüttinger
De generatoren uit de TruPlasma VHF-serie 3000 zijn gebaseerd op een innovatief platformconcept dat maximale vermogensdichtheid mogelijk maakt en voldoet aan hoge proceseisen. De modulaire en zuiver watergekoelde opbouw maakt verschaling van het uitgangsvermogen tot 80 kW mogelijk. Bovendien overtuigen de compacte VHF-generatoren door hun zuinigheid en robuust ontwerp.
Voor de aanwezige single en multi level pulsing biedt dit de beste controle over het plasmaproces.
Daardoor is een zeer flexibele besturing van het ontstekingsgedrag van de generator mogelijk.
Automatische frequentieaanpassing voor een optimaal samenspel tussen generator en aanpassingsnetwerk.
Uitstekende reproduceerbare procesresultaten dankzij een uiterst nauwkeurige digitale frequentiemodulatie.
Geen lengteaanpassing van de HF-kabel bij proceswijzigingen nodig, daardoor korte insteltijden.
Betrouwbare werking van de generator ook bij verkeerde aanpassing dankzij CombineLine-technologie.
Productie van zonnecellen
Op het gebied van fotovoltaïsche energie zijn er veel toepassingsgebieden voor op maat gemaakte procesenergie. Hierbij worden verschillende plasmaprocessen voor het aanbrengen en afnemen van materiaal gebruikt, bijvoorbeeld sputter-, PECVD- en etsprocessen. De generatoren van de TruPlasma VHF-serie 3000 kunnen optimaal worden aangepast aan het betreffende proces, waarbij het snelle vlamboogbeheer een stabiele beheersing van het plasma mogelijk maakt. Zo zijn uitstekende procesresultaten en een hoge productiviteit gegarandeerd.
Halfgeleiderproductie
Bij de productie van halfgeleiders worden verschillende plasmaprocessen gebruikt, van afneemprocessen met behulp van droogetsen tot vloeibarezonesmeltprocessen bij de productie van zuiver silicium. De generatoren uit de TruPlasma VHF-serie 3000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.
Ideaal voor het coaten van flatscreens
De HF-generatoren uit de TruPlasma VHF Serie 3000 zijn ideaal voor plasmaprocessen zoals RIE, ALD, PECVD en RF-sputteren. Deze processen worden onder andere gebruikt bij de productie van halfgeleidercomponenten en micromechanische systemen (MEMS) en bij de coating van flatscreens en zonnecellen.
|
Truplasma VHF 1000-2.5/60
|
TruPlasma VHF 3000-5/40
|
TruPlasma VHF 3000-10/40
|
|
|---|---|---|---|
| RF uitgang | |||
| Uitgangsvermogen | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Nominaal vermogen | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Nominale lastimpedantie | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Uitgangsfrequentie | 60 MHz | 40,68 MHz | 40,68 MHz |
| Netaansluitgegevens | |||
| Netspanning | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Netfrequentie | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Opnamevermogen net | 4 kVA | 9,3 kVA | 18,6 kVA |
| Vermogensfactor | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Communicatie-interfaces | |||
| Sync interfaces | Ja | Ja | Ja |
| Analoog/digitaal | Ja | Ja | Ja |
| RS 232/RS 485 | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Nee | Nee | Nee |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja |
| Behuizing | |||
| Gewicht | 23 kg | 32 kg | 53 kg |
| Beschermingsgraad IP | 30 | 30 | 30 |
| Koelingsvereisten | |||
| Max. waterdruk | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. drukverschil | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. doorstroomhoeveelheid | 8 l/min | 8 l/min | 10 l/min |
| Temperatuur koelmiddel | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C |
| Algemeen | |||
| Totaal rendement | 70 % | 70 % | 70 % |
| Certificaten/standaards | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Omgevingsvoorwaarden | |||
| Buitentemperatuur | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Luchtvochtigheid | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrische druk | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
De technische gegevens van alle productvarianten als download.
Flexibele aanpassing aan het proces
Het modulaire platformconcept van de TruPlasma VHF-serie 3000 maakt een verschaling van het uitgangsvermogen tot 80 kW mogelijk. Dankzij de geïmplementeerde CombineLine-technologie gedraagt de generator zich ook bij een verkeerde aanpassing heel robuust. Zijn brede frequentiebereik en de variabele netspanning en kabellengte maken een flexibele aanpassing aan verschillende toepassingen en gebruikslanden mogelijk.
Maximale efficiëntie en zuinigheid
De HF-generators uit de TruPlasma VHF-serie 3000 zijn volledig opgebouwd met de modernste halfgeleidertechniek met LDMOS-vermogenstransformators. De hooggeïntegreerde planaire opbouwtechniek maakt maximale vermogensdichtheden mogelijk bij tegelijkertijd hoge energie-efficiëntie en bijbehorend verlaagd koelvermogen. Daardoor biedt deze serie een in dit frequentiebereik tot nu toe ongeëvenaarde zuinigheid en verlaagt het de op de markt gebruikelijke bedrijfskosten.
TRUMPF SystemPort
De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk. Voor de RF-generator zijn alle meetwaarden beschikbaar. Daardoor kunnen procesparameters beter worden bewaakt, het aanpassingsnetwerk worden beschermd en een tijdige vlamboogherkenning worden gewaarborgd. Het volledige RF-systeem kan daardoor via een enkele generatorinterface worden bediend.
Verschillende opties maken de optimale aanpassing van de VHF-generator aan uw toepassing mogelijk.
De gepatenteerde oplossing Auto Frequency Tuning maakt een gelijktijdige en snelle frequentieaanpassing mogelijk en garandeert een optimaal samenspel tussen generator en aanpassingsnetwerk. Door deze gepatenteerde techniek vormt een plaatselijk minimum geen hindernis meer: het RF-systeem wordt optimaal gehouden en maakt daardoor de beste procesresultaten en een hoge reproduceerbaarheid mogelijk.
Het doordachte vlamboogbeheer is de ideale module voor de beste controle van het plasmaproces. Een gerichte vlamboogherkenning garandeert de beste productiviteit en beschermt tegelijkertijd het product en de installatie.
Flexibele pulsvorming: de vorm van het uitgangssignaal kan naar wens worden aangepast aan de actuele proceseisen.
TruControl Power
De gebruiksvriendelijke besturingssoftware TruControl Power maakt een comfortabele inbedrijfstelling en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.
Door selectie van de juiste systeemcomponenten kunt u de VHF-generator optimaal aan de eisen van uw toepassing aanpassen.
TruPlasma Match-aanpassingsnetwerken zorgen voor een optimale vermogensoverdracht van de generator naar de plasmaontlading. Het gebruik van het aanpassingsnetwerk kan zelfstandig of via een slimme verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerk, de zogenaamde SystemPort, plaatsvinden.
Deze bestaat uit een adapter voor wateraansluitingen, een set voor HARTING AC-voeding, jumper voor interlockfunctie, adapter van LEMO EPL op BNC-vrouwtje (voor klok- en pulssynchronisatiestekker).
Met behulp van masteroscillatoren kunnen kritische synchrone plasmaprocessen worden gestabiliseerd en geoptimaliseerd. Een geïntegreerde digitale frequentie- en fasesynthesizer zorgt voor een hoge frequentie- en fasestabiliteit en maakt het instellen van de faseverhouding met een heel klein increment mogelijk. Voor de frequentie 13,56 MHz en voor verschillende combinaties van frequenties kan worden gekozen uit verschillende uitvoeringen van de masteroscillator.
Een HF-omschakelaar maakt het meervoudig gebruik van een HF-generator voor verschillende plasmaprocesstations mogelijk, bijvoorbeeld voor de stroomtoevoer van sequentiële processen of voor systemen met verschillende toegangspunten. Er zijn verschillende HF-shifts in twee vermogensklassen en met 2, 3 of 4 uitgangen beschikbaar.
Voor de HF-vermogensoverdracht biedt TRUMPF Hüttinger-coaxkabels aan, die speciaal zijn ontwikkeld voor gebruik in 50 Ohm-systemen.
Perfect op elkaar afgestemd: het TRUMPF-RF-systeem
Plasmaprocessen gedragen zich als een complexe, variabele belasting die constant moet worden gevoed door de generator. Hier zorgen actieve aanpassingsnetwerken voor, die op elk moment een nauwkeurige aanpassing aan de optimale impedantie van 50 Ohm waarborgen. Zo ontstaat een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing; het TRUMPF RF-systeem. Via diverse interfaces, waaronder EtherCAT, kunt u de generator en het aanpassingsnetwerk heel eenvoudig in uw bestaande procesomgeving integreren en door een intelligente verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerken, de zgn. SystemPort, bereikt u een optimale systeemoplossing.
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
Voetnoten-
De koelwatertemperatuur moet het dauwpunt van de kamertemperatuur overschrijden om condensatie te voorkomen.
LDMOS
Precision in Processing
