Garantie voor excellente procesresultaten
Met deze HF-generatoren speelt u op safe: de TruPlasma RF Serie 3000 onderscheidt zich door een robuust ontwerp en hoge efficiëntie. Daardoor zijn deze generatoren uitermate geschikt voor stabiele, reproduceerbare plasmaprocessen, zoals bijvoorbeeld bij de productie van flatscreens, zonnecellen of halfgeleiders. Deze generators zijn geïnstalleerd in duizenden toepassingen wereldwijd en garanderen een grote productiviteit en uitstekende procesresultaten.
Rendementen tot 80% maken een verlaging van de energiekosten met max. 50% mogelijk.
Veilige uitvoering, ook bij veeleisende en nieuwe processen.
CombineLine-technologie: betrouwbare bescherming tegen gereflecteerd vermogen bij slechte aanpassingen.
Continue of pulserende vermogensafdracht, daardoor zeer veelzijdig te gebruiken.
Ets- en coatingprocessen
De HF-generators uit de TruPlasma RF-serie 3000 zijn vooral geschikt voor ets- en coatingsprocessen, bijvoorbeeld plasmaetsen, reactief ionenetsen, ALD en PECVD.
Coating van metalen werkstukken
Met behulp van plasmaprocessen kan zowel materiaal op oppervlakken worden aangebracht als verwijderd, bijvoorbeeld bij het coaten van metalen werkstukken met een slijtagebestendige laag of bij het structureren van elektronische componenten met behulp van plasma-etsen of fotolak-plasmaverbranding.
Coating van flatscreens en zonnecellen
De HF-generatoren van de TruPlasma Serie RF 3000 zijn ideaal voor plasmaprocessen zoals RIE, ALD, PECVD en RF-sputteren. Deze processen worden onder andere gebruikt bij het coaten van flatscreens en zonnecellen.
|
TruPlasma RF 3012
|
TruPlasma RF 3020
|
TruPlasma RF 3024
|
|
|---|---|---|---|
| RF uitgang | |||
| Uitgangsvermogen | 12 kW | 20 kW | 24 kW |
| Nominaal vermogen | 12 kW | 20 kW | 24 kW |
| Nominale lastimpedantie | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Uitgangsfrequentie | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Netaansluitgegevens | |||
| Netspanning | 400 - 480 V | 400 - 480 V | 400 - 480 V |
| Netfrequentie | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Opnamevermogen net | 16,6 kVA | 28,1 kVA | 33,3 kVA |
| Vermogensfactor | 0,93 | 0,93 | 0,93 |
| Communicatie-interfaces | |||
| Sync interfaces | Ja | Ja | Ja |
| Analoog/digitaal | Ja | Ja | Ja |
| RS 232/RS 485 | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja |
| Behuizing | |||
| Gewicht | 57 kg | 117 kg | 117 kg |
| Beschermingsgraad IP | 20 | 20 | 20 |
| Koelingsvereisten | |||
| Max. waterdruk | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. drukverschil | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. doorstroomhoeveelheid | 10 l/min | 20 l/min | 20 l/min |
| Temperatuur koelmiddel | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 |
| Algemeen | |||
| Totaal rendement | 78 % | 75 % | 75 % |
| Certificaten/standaards | SEMI F47,CE, RoHs | SEMI F47,CE, RoHs | SEMI F47,CE, RoHs |
| Omgevingsvoorwaarden | |||
| Buitentemperatuur | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Luchtvochtigheid | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrische druk | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
De technische gegevens van alle productvarianten als download.
Maximale efficiëntie en processtabiliteit
Halveren van energieverlies en daling van het koelwatergebruik door het excellente rendement, zo minimaliseert u uw bedrijfskosten. Het zeer robuuste ontwerp van de generatoren maakt een langere bedrijfsduur en daardoor grotere coatingsnelheden mogelijk, zelfs bij kritieke processen. Plasmaschommelingen worden effectief voorkomen door de CombineLine-technologie met echte 50 Ohm-uitgangsimpedantie, hierdoor zijn absoluut stabiel processen mogelijk.
Veiligheid onder alle omstandigheden
Het robuuste ontwerp zorgt voor een maximale betrouwbaarheid en productiviteit van uw proces. Een 100% bescherming tegen verkeerde aanpassing garandeert een veilig bedrijf, ook bij kritische belasting. De naar keuze continue of pulserende vermogensafdracht ondersteunt een groot aantal proceseisen. Wereldwijd zijn al meer dan 20.000 eenheden geïnstalleerd - meer dan van enige andere plasmastroomvoorziening.
TRUMPF SystemPort
De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk. Voor de RF-generator zijn alle meetwaarden beschikbaar. Daardoor kunnen procesparameters beter worden bewaakt, het aanpassingsnetwerk worden beschermd en een tijdige vlamboogherkenning worden gewaarborgd. Het volledige RF-systeem kan daardoor via een enkele generatorinterface worden bediend.
Verschillende opties maken een optimale aanpassing van de HF-generator aan uw toepassing mogelijk.
Het doordachte vlamboogbeheer is de ideale module voor de beste controle van het plasmaproces. Een gerichte vlamboogherkenning garandeert de beste productiviteit en beschermt tegelijkertijd het product en de installatie.
TruControl Power
De gebruiksvriendelijke besturingssoftware TruControl Power maakt een comfortabele inbedrijfstelling en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.
Alle componenten van het TRUMPF RF-systeem zijn optimaal op elkaar afgestemd.
TruPlasma Match-aanpassingsnetwerken zorgen voor een optimale vermogensoverdracht van de generator naar de plasmaontlading. Het gebruik van het aanpassingsnetwerk kan zelfstandig of via een slimme verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerk, de zogenaamde SystemPort, plaatsvinden.
Met behulp van masteroscillatoren kunnen kritische synchrone plasmaprocessen worden gestabiliseerd en geoptimaliseerd. Een geïntegreerde digitale frequentie- en fasesynthesizer zorgt voor een hoge frequentie- en fasestabiliteit en maakt het instellen van de faseverhouding met een heel klein increment mogelijk. Voor de frequentie 13,56 MHz en voor verschillende combinaties van frequenties kan worden gekozen uit verschillende uitvoeringen van de masteroscillator.
Een HF-omschakelaar maakt het meervoudig gebruik van een HF-generator voor verschillende plasmaprocesstations mogelijk, bijvoorbeeld voor de stroomtoevoer van sequentiële processen of voor systemen met verschillende toegangspunten. Er zijn verschillende HF-shifts in twee vermogensklassen en met 2, 3 of 4 uitgangen beschikbaar.
Voor de HF-vermogensoverdracht biedt TRUMPF Hüttinger-coaxkabels aan, die speciaal zijn ontwikkeld voor gebruik in 50 Ohm-systemen.
Perfect op elkaar afgestemd: generator en aanpassingsnetwerk
Plasmaprocessen gedragen zich als een complexe, variabele belasting die constant moet worden gevoed door de generator. Hier zorgen actieve aanpassingsnetwerken voor, die op elk moment een nauwkeurige aanpassing aan de optimale impedantie van 50 Ohm waarborgen. Zo ontstaat een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing; het TRUMPF RF-systeem. Via diverse interfaces, waaronder EtherCAT, kunt u de generator en het aanpassingsnetwerk heel eenvoudig in uw bestaande procesomgeving integreren en door een intelligente verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerken, de zgn. SystemPort, bereikt u een optimale systeemoplossing.
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
Voetnoten-
De koelwatertemperatuur moet het dauwpunt van de kamertemperatuur overschrijden om condensatie te voorkomen.
