Robuuste en krachtige Solid State Power Plasmagenerator voor de hoogste plasmadichtheid en procesvereisten
De generatoren van de TruPlasma MW Serie zijn gebaseerd op de Solid State-technologie en bereiken een aanzienlijk hogere frequentienauwkeurigheid dan magnetron-gebaseerde microgolfgeneratoren. Het innovatieve platformconcept kan de hoogste plasmadichtheid en zelfs zeer veeleisende procesvereisten efficiënt en economisch realiseren. De modulaire opbouw maakt bovendien een precieze schaling van het uitgangsvermogen mogelijk. De stroomvoorziening blijft daarbij constant stabiel zonder dat de proceskwaliteit wordt beïnvloed. Bij de productie van halfgeleiders, zonnecellen en displays zorgt de TruPlasma MW Serie dankzij moderne procesfuncties voor de beste resultaten en de hoogste betrouwbaarheid.
Een innovatieve pulseerbaarheid in het nanosecondebereik zorgt voor de beste plasmaprocescontrole.
Automatische frequentieaanpassing garandeert een optimaal procesresultaat en een hoge reproduceerbaarheid.
Bij systemen met meerdere antennes kunnen verschillende generatoren fase-synchroon en pulserend worden gebruikt. Door variatie van de fasen tussen de afzonderlijke generatoren kan er op een groot oppervlak plasmahomogeniteit worden bereikt.
Vertrouw op de werking van de generator – ook bij foutieve aanpassingen wordt de proceskwaliteit niet beïnvloed.
Profiteer van uiterst precieze, digitale frequentiemodulatie die voor reproduceerbare procesresultaten, de hoogste coatingkwaliteit en productiviteit zorgt.
Dankzij de digitale interface EtherCat kunt u het apparaat snel binnen één milliseconde aansturen. Dit maakt een precieze plasmaverdeling mogelijk.
Productie van zonnecellen
Op het gebied van fotovoltaïek worden plasmaprocessen zoals sputteren of PECVD gebruikt voor het aanbrengen en verwijderen van materiaal. De generatoren van de TruPlasma MW Serie kunnen snel aan de verschillende processen worden aangepast en garanderen hoge productiviteit en eersteklas procesresultaten. Dankzij de nauwkeurige dosering van de energie worden zelfs bij de modernste, meest veeleisende toepassingen de beste resultaten bereikt. Daarbij maakt de uiterst precieze vermogensregeling de beste wafer-to-wafer-herhaalbaarheid mogelijk.
Productie van halfgeleiders
Plasmageneratoren worden gebruikt voor verschillende plasmaprocessen bij de productie van halfgeleiders – van droog etsen tot vloeibarezonesmeltprocessen bij de productie van silicium. Onze TruPlasma MW Serie biedt geoptimaliseerde stroomvoorzieningen voor al deze processen
Coating van flatscreens
Bij de coating van flatscreens laten onze generatoren van de TruPlasma MW hun beste kant zien in plasmaprocessen als PECVD, ALD en RIE.
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
