RF-systeemoplossing uit één stuk
De nieuwe aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) zijn de ideale aanvulling op HF-generatoren van TRUMPF Hüttinger. Dankzij het intelligente matching-algoritme en het digitale besturingsplatform voor de procesbewaking ontstaat een totaaloplossing waarbij alle componenten optimaal samenwerken – het TRUMPF RF-systeem.
Snelle, stabiele en reproduceerbare impedantieaanpassing van 50 ohm, zelfs bij kritische processen.
Geavanceerde software en verbeterde communicatie tussen generator en aanpassingsnetwerk.
Het systeem houdt elke impedantieverandering van het aanpassingsnetwerk en de belasting direct bij.
Optimale bewaking van de procesparameters en vroegtijdige vlamboogherkenning.
Grafische gebruikersinterface en effectieve tools (Smith-diagram, realtime-oscilloscoop).
Productie van halfgeleiders, zonnecellen en flatscreens
Bij de productie van halfgeleiders, zonnecellen en flatscreens zijn stabiele plasmaprocessen essentieel. In combinatie met de TRUMPF Hüttinger HF-generatoren bieden de aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) een totaaloplossing voor optimale processtabiliteit en productiviteit.
Aanbrengen van hardmateriaal- en slijtvaste coatings
Door aanbrenging van een functionele coating krijgen veeleisende werkstukken een verhoogde mechanische hardheid en een betere thermische en chemische stabiliteit. De aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) zorgen in combinatie met een HF-generator van TRUMPF Hüttinger voor een perfecte coatingkwaliteit.
Afnemen en coaten van oppervlakken
De aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) kunnen in alle gebruikelijke plasmaprocessen voor het coaten of afnemen van oppervlakken worden gebruikt, bijvoorbeeld bij plasma-etsen, reactief ionenetsen, ALD, PECVD, RF-sputtering of fotolak-plasma-etsen. In combinatie met een HF-generator van TRUMPF Hüttinger worden zo optimale procesresultaten bereikt.
Altijd perfecte procescontrole
Het aanpassingsnetwerk zorgt te allen tijde voor een snelle en directe impedantieaanpassing aan 50 Ohm. Zo is altijd de volledige prestatieafgifte van de HF-generator in het proces gegarandeerd. De naadloze communicatie tussen aanpassingsnetwerk en generator maakt een optimale procesbewaking en vroegtijdige vlamboogherkenning mogelijk.
Alle parameters in één oogopslag
De realtimemeting van het HF-in- en -uitgangsvermogen signaliseert dynamische impedantiewijzigingen, koelsensoren maken een betrouwbare voorspelling van het energieverlies mogelijk. Dankzij de grafische besturingssoftware met complexe weergaveopties (Smith-diagram, realtime-oscilloscoop) hebt u altijd zicht op alle relevante procesparameters.
TRUMPF SystemPort
De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk. Voor de RF-generator zijn alle meetwaarden beschikbaar. Daardoor kunnen procesparameters beter worden bewaakt, het aanpassingsnetwerk worden beschermd en een tijdige vlamboogherkenning worden gewaarborgd. Het volledige RF-systeem kan daardoor via een enkele generatorinterface worden bediend.
Uiterst nauwkeurige AC-ampèremeting voor het detecteren van plasma-afwijkingen, geplaatst in het aanpassingsnetwerk dicht bij het proces, direct bij de kamer.
Als optionele interfaces zijn analoog/digitaal, PROFIBUS en EtherCAT beschikbaar. Standaard zijn ethernet, SystemPort en RS232/485.
Het doordachte vlamboogbeheer is de ideale module voor de beste controle van het plasmaproces. Een gerichte vlamboogherkenning garandeert de beste productiviteit en beschermt tegelijkertijd het product en de installatie.
Grafische besturingssoftware
Complexe grafische weergaves maken een uitgebreide bewaking van alle relevante procesparameters mogelijk. Last- en aanpassingsnetwerkimpedantie worden met behulp van een Smith-diagram gevisualiseerd, de HF-in- en -uitgangsvermogens inclusief frequentie- en fasenlengte met behulp van een realtime-oscilloscoop.
TruControl Power
De gebruiksvriendelijke besturingssoftware TruControl Power maakt een comfortabele inbedrijfstelling en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.
Complexe grafische weergaven maken een uitgebreide bewaking van alle relevante procesparameters mogelijk. Last- en aanpassingsnetwerkimpedantie worden met behulp van een Smith-diagram gevisualiseerd, het HF-in- en -uitgangsvermogen inclusief frequentie en fasehoek met behulp van een realtime-oscilloscoop.
Met behulp van masteroscillatoren kunnen kritische synchrone plasmaprocessen worden gestabiliseerd en geoptimaliseerd. Een geïntegreerde digitale frequentie- en fasesynthesizer zorgt voor een hoge frequentie- en fasestabiliteit en maakt het instellen van de faseverhouding met een heel klein increment mogelijk. Voor de frequentie 13,56 MHz en voor verschillende combinaties van frequenties kan worden gekozen uit verschillende uitvoeringen van de masteroscillator.
Een HF-omschakelaar maakt het meervoudig gebruik van een HF-generator voor verschillende plasmaprocesstations mogelijk, bijvoorbeeld voor de stroomtoevoer van sequentiële processen of voor systemen met verschillende toegangspunten. Er zijn verschillende HF-shifts in twee vermogensklassen en met 2, 3 of 4 uitgangen beschikbaar.
Voor de HF-vermogensoverdracht biedt TRUMPF Hüttinger-coaxkabels aan, die speciaal zijn ontwikkeld voor gebruik in 50 Ohm-systemen.
Optimale beheersing van het plasmaproces
Plasmaprocessen gedragen zich als een complexe, variabele belasting die constant moet worden gevoed door de generator. Hier zorgen actieve aanpassingsnetwerken voor, die op elk moment een nauwkeurige aanpassing aan de optimale impedantie van 50 Ohm waarborgen. Zo ontstaat een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing; het TRUMPF RF-systeem. Via diverse interfaces, waaronder EtherCAT, kunt u de generator en het aanpassingsnetwerk heel eenvoudig in uw bestaande procesomgeving integreren en door een intelligente verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerken, de zgn. SystemPort, bereikt u een optimale systeemoplossing.
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
