De luchtgekoelde HF-generator TruPlasma RF 1001 Air levert max. 1000 watt uiterst nauwkeurige, reproduceerbare HF-energie met een extreem fijne dosering – in stappen van 100 mW – en is daarmee ideaal voor de meest uiteenlopende plasmatoepassingen. Of het nu gaat om de productie van halfgeleiders, zonnecellen of displays, de gepatenteerde technologie van TRUMPF Hüttinger garandeert overal een optimale betrouwbaarheid en de beste procesresultaten dankzij moderne procesfuncties.
Garandeert een optimale en zeer snelle aanpassing van de frequentie en daarmee een optimaal samenspel tussen generator en aanpassingsnetwerk.
Veilige uitvoering van veeleisende en nieuwe processen garandeert de bescherming van uw product.
Flexibele, meertrapse aansturing van de pulsvorm voor betere procesresultaten in moderne plasmaprocessen.
Flexibel gebruiken en vervangen van generatoren mogelijk bij procesveranderingen of retrofit.
De gepatenteerde CombineLine-technologie garandeert gelijkmatige procesprestaties dankzij een echte 50 ohm-uitgangsimpedantie.
Met verschillende vermogensklassen binnen de HF-productfamilie wordt aan alle procesvereisten voldaan.
Bij proceswijzigingen of veranderingen aan het systeem hoeft de lengte van de kabel niet meer aangepast te worden.
De HF-generatoren van de TruPlasma RF Air Serie 1000 zijn ideaal voor plasmaprocessen zoals RIE, ALD, PECVD en RF-sputteren. Deze processen worden onder andere gebruikt bij de productie van halfgeleidercomponenten en micromechanische systemen (MEMS) en bij de coating van flatscreens en zonnecellen.
Typische toepassingsgebieden van de TruPlasma RF Air Serie 1000 zijn veeleisende PECVD-, ets- en HF-sputterprocessen bij de productie van zonnecellen.
Bij de productie van halfgeleiders worden verschillende plasmaprocessen gebruikt, van afneemprocessen en droogetsen tot vloeibarezonesmeltprocessen bij de productie van zuiver silicium. De generatoren uit de TruPlasma RF Air Serie 1000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal op het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.
Hoogste productiviteit en beschikbaarheid
Het flexibele, robuuste design van de HF-generatoren maakt een stijging van de productie en een reductie van de bedrijfskosten mogelijk.
Stabiele processen, reproduceerbare resultaten
De gepatenteerde CombineLine-technologie met intelligente real-time matching garandeert een optimale beschikbaarheid van de TruPlasma RF 1001 Air en voorkomt op betrouwbare wijze plasmaschommelingen en verontreinigingen.
Compact en flexibel te gebruiken
Dankzij de compacte constructie (insteekmodule van ½-19") is de HF-generator zeer plaatsbesparend – ideaal voor nieuwe installaties en als retrofitoplossing in bestaande installaties. De integratie is dankzij de talrijke beschikbare interfaces (configureerbare analoge interface, ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zeer eenvoudig.
Tot op de decimaal nauwkeurig
Dankzij de precieze energiedosering in stappen van 100 mW kunnen met de TruPlasma RF 1001 Air ook in de modernste, meest veeleisende toepassingen zoals ALD de beste resultaten behaald worden. De uiterst nauwkeurige vermogensregeling van de HF-generator garandeert de beste wafer-naar-wafer-herhaalbaarheid.
De beste procesresultaten dankzij moderne procesfuncties
Digitale besturingsfuncties als Auto Frequency Tuning 2.0, vlamboogbeheer en pulseren op meerdere niveaus maken een optimale aanpassing van de HF-generator aan het betreffende proces mogelijk.
Flexibele aanpassing aan de eisen van de klant
Er zijn verschillende vermogensklassen en frequenties in een uniform generatorontwerp beschikbaar, waardoor een eenvoudige vervanging bij proceswijzigingen mogelijk is. Ook het aanpassen van de kabellengte is niet meer nodig.
Aansturing van het complete HF-systeem via de TRUMPF SystemPort
De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk, zodat de HF-generator altijd alle meetwaarden ter beschikking stelt. De procesparameters worden continu bewaakt, het aanpassingsnetwerk wordt beschermd en een tijdige vlamboogherkenning wordt gewaarborgd.
De synchronisatiemodule maakt de flexibele en veilige synchronisatie van meerdere generatoren in complexe plasmasystemen mogelijk.
Het doordachte vlamboogbeheer waarborgt een optimale controle van het plasmaproces. Door een gerichte vlamboogherkenning neemt de productiviteit toe en worden product en installatie tegelijkertijd tegen schade beschermd.
De nieuwste plasmaprocessen vereisen meer flexibiliteit bij de pulswerking. Elke soort pulsvorm kan met de meertrapse, vrij te kiezen pulswerking bereikt worden. Dit leidt tot een nieuw besturingsmechanisme in de plasmafysica en tot betere procesresultaten.
De gepatenteerde Auto Frequency Tuning maakt een gelijktijdige en snelle frequentieaanpassing mogelijk tussen generator en aanpassingsnetwerk. De beste procesresultaten en de hoogste reproduceerbaarheid zijn daarmee gegarandeerd.
Web-GUI
De geïntegreerde webserver maakt zowel het bedrijf van het HF-systeem als ook software-updates via een webbrowser mogelijk.
TruControl Power
De toepassingsvriendelijke besturingssoftware maakt een comfortabele inbedrijfname en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
