Technologia Bipolar spełniająca najwyższe wymagania
Zasilacze TruPlasma Bipolar Serii 4000 (G2) zostały opracowane specjalnie dla powłok wykonywanych przy udziale plazmy w procesach PVD, PECVD i reaktywnych procesach rozpylania. Dzięki możliwości elastycznego formowania sygnału wyjściowego i zaawansowanemu systemowi detekcji łuków te zasilacze dwubiegunowe najnowszej generacji są bardzo wszechstronne. Zarówno w produkcji półprzewodników i ogniw słonecznych jak i przy powlekaniu szkła architektonicznego, zawsze można spodziewać się doskonałych wyników pod względem jakości powłoki i szybkości powlekania.
W pełni cyfrowy system detekcji łuków pozwala uzyskać wysoką jakość powłoki i dużą wydajność procesu
Łatwe dostosowanie się do różnych procesów przez zmianę sygnału wyjściowego
DC, impulsowy DC i Bipolar: oszczędność kosztów dzięki wielu opcjom ustawień
Brak komponentów zewnętrznych zapewniający kompaktowe rozmiary urządzenia
Zasilanie prądowe najwyższej klasy
Typowe zastosowania obejmują produkcję półprzewodników, ogniw fotowoltaicznych, powlekanie szkła architektonicznego, produkcję powłok dekoracyjnych oraz warstw odpornych na ścieranie najwyższej jakości. W tym przypadku stosuje się w szczególności procesy PVD i PECVD.
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
Porównaj produkt
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
Porównaj produkt
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
Porównaj produkt
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
Porównaj produkt
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
Porównaj produkt
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Wyjście | |||||
| Moc znamionowa | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maks. prąd wyjściowy | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maks. napięcie wyjściowe | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Znamionowa częstotliwość robocza | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Parametry łuku | |||||
| Maks. charakterystyka łuku | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energia arc | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Napięcia w układzie wzbudzania | |||||
| ze wspomaganiem zapłonu | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Dane przyłącza sieciowego | |||||
| Napięcie sieciowe | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Częstotliwość sieciowa | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Współczynnik mocy | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Złącza komunikacyjne | |||||
| Analogowe/cyfrowe | Tak | Tak | Tak | Tak | Tak |
| RS 232 / RS 485 | Tak | Tak | Tak | Tak | Tak |
| PROFIBUS | Tak | Tak | Tak | Tak | Tak |
| EtherCAT | Tak | Tak |
Tak
- |
Tak | Tak |
| DeviceNet | Tak | Tak |
Tak
- |
Tak | Tak |
| Obudowa | |||||
| Szerokość | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Wysokość | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Głębokość | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Masa | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Stopień ochrony IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Wymagania dot. chłodzenia | |||||
| Medium chłodzące | Woda | Woda | Woda | Woda | Woda |
| Maks. ciśnienie wody | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. różnica ciśnień | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. natężenie przepływu | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Temperatura medium chłodzącego | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Informacje ogólne | |||||
| Sprawność łączna | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Warunki otoczenia | |||||
| Temperatura zewnętrzna | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Wilgotność powietrza | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Ciśnienie barometryczne | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Wyjście | |||||
| Moc znamionowa | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maks. prąd wyjściowy | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maks. napięcie wyjściowe | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Znamionowa częstotliwość robocza | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Parametry łuku | |||||
| Maks. charakterystyka łuku | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energia arc | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Napięcia w układzie wzbudzania | |||||
| ze wspomaganiem zapłonu | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Dane przyłącza sieciowego | |||||
| Napięcie sieciowe | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Częstotliwość sieciowa | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Współczynnik mocy | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Złącza komunikacyjne | |||||
| Analogowe/cyfrowe | Tak | Tak | Tak | Tak | Tak |
| RS 232 / RS 485 | Tak | Tak | Tak | Tak | Tak |
| PROFIBUS | Tak | Tak | Tak | Tak | Tak |
| EtherCAT | Tak | Tak |
Tak
- |
Tak | Tak |
| DeviceNet | Tak | Tak |
Tak
- |
Tak | Tak |
| Obudowa | |||||
| Szerokość | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Wysokość | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Głębokość | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Masa | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Stopień ochrony IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Wymagania dot. chłodzenia | |||||
| Medium chłodzące | Woda | Woda | Woda | Woda | Woda |
| Maks. ciśnienie wody | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. różnica ciśnień | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. natężenie przepływu | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Temperatura medium chłodzącego | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Informacje ogólne | |||||
| Sprawność łączna | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Warunki otoczenia | |||||
| Temperatura zewnętrzna | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Wilgotność powietrza | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Ciśnienie barometryczne | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Doskonałe powłoki, wysoka produktywność
W pełni cyfrowy system zarządzania Arc o bardzo małej energii Arc pozwala uzyskać wysokiej jakości powłoki i dużą prędkość osadzania. Bez względu na to, jak wymagające są procesy reaktywne, TruPlasma Bipolar Serii 4000 (G2) zapewnia zawsze stabilne zasilanie procesu, a tym samym stabilny stan plazmy.
Większa elastyczność, niskie koszty
Regulowane kształty sygnału wyjściowego pomagają w prosty sposób dostosować zasilacze TruPlasma Bipolar Serii 4000 (G2) do różnych wymagań procesowych. Dzięki elastycznemu wyborowi sygnału wyjściowego (DC, pulsowy DC lub Bipolar), zasilacze są uniwersalne i pomagają obniżyć całkowity koszt eksploatacji.
Wszystko w jednej obudowie
Dzięki chłodzeniu wodą oraz obudowie zasilacza w pełni chroniącej przed wpływem środowiska nie są potrzebne żadne komponenty zewnętrzne.
PVDPower
Przyjazne dla użytkownika, wielojęzyczne oprogramowanie PVD Power oferuje różne możliwości obsługi, konfiguracji i diagnostyki w celu optymalizacji jakości procesu i skutecznego usuwania usterek: wyświetlanie rzeczywistych wartości wszystkich istotnych parametrów procesu, ostrzeżeń i alarmów, ustawianie żądanej wartości przez operatora, wizualizacja i zapisywanie ważnych parametrów pracy z wysoką rozdzielczością czasową (oscyloskop).
Wybierając różne komponenty systemu można optymalnie dostosować zasilacz Bipolar do danego środowiska.
Istnieją różne typy przewodów i złączy do różnych standardów połączeniowych.
W zależności od kraju możliwe są odstępstwa od podanego asortymentu i tych informacji. Zastrzega się możliwość zmian w technologii, wyposażeniu, cenie lub ofercie akcesoriów. Proszę skontaktować się z lokalną osobą kontaktową, aby ustalić, czy produkt jest dostępny w Państwa kraju.
