Bipolaire technologie voor de hoogste eisen
De processtroomtoevoer van de TruPlasma Bipolar-serie 4000 (G2) is speciaal ontwikkeld voor plasmaondersteunde coating met behulp van PVD-, PECVD- en reactieve sputterprocessen. Dankzij hun flexibel vormbare uitgangssignaal en het geperfectioneerde vlamboogbeheer zijn deze bipolaire pulsgeneratoren van de nieuwste generatie zeer veelzijdig inzetbaar. Of het nu gaat om de productie van halfgeleiders en zonnecellen of om het coaten van architecturaal glas: u kunt in elk geval de beste prestaties met betrekking tot coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden verwachten.
Volledig digitaal vlamboogbeheer voor optimale coatingkwaliteit en productiviteit.
Eenvoudige aanpassing aan verschillende processen door variatie van het uitgangssignaal.
DC, pulserend DC en bipolair: kostenbesparing dankzij verschillende instelopties.
Geen externe componenten nodig, neemt daardoor slechts weinig ruimte in.
Eersteklas stroomtoevoer
Typische toepassingsgebieden zijn de productie van halfgeleiders en zonnecellen, de coating van architecturaal glas en de productie van decoratieve en slijtvaste coatings van optimale kwaliteit. Daarbij worden met name PVD- en PECVD-processen gebruikt.
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
Product vergelijken
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Uitgang | |||||
| Nominaal vermogen | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maximale uitgangsstroom | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maximale uitgangsspanning | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Nominale bedrijfsfrequentie | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Arc-parameter | |||||
| Maximale Arc-rate | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc-energie | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Ontstekingsspanningen | |||||
| met hulpontsteking | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Netaansluitgegevens | |||||
| Netspanning | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Netfrequentie | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Vermogensfactor | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Communicatie-interfaces | |||||
| Analoog/digitaal | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| RS 232/RS 485 | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| EtherCAT | Ja | Ja |
Ja
- |
Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja |
Ja
- |
Ja | Ja |
| Behuizing | |||||
| Breedte | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Hoogte | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Diepte | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Gewicht | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Beschermingsgraad IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Koelingsvereisten | |||||
| Koelmedium | Water | Water | Water | Water | Water |
| Max. waterdruk | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. drukverschil | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. doorstroomhoeveelheid | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Temperatuur koelmiddel | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Algemeen | |||||
| Totaal rendement | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Omgevingsvoorwaarden | |||||
| Buitentemperatuur | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Luchtvochtigheid | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrische druk | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Uitgang | |||||
| Nominaal vermogen | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maximale uitgangsstroom | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maximale uitgangsspanning | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Nominale bedrijfsfrequentie | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Arc-parameter | |||||
| Maximale Arc-rate | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc-energie | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Ontstekingsspanningen | |||||
| met hulpontsteking | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Netaansluitgegevens | |||||
| Netspanning | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Netfrequentie | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Vermogensfactor | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Communicatie-interfaces | |||||
| Analoog/digitaal | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| RS 232/RS 485 | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| EtherCAT | Ja | Ja |
Ja
- |
Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja |
Ja
- |
Ja | Ja |
| Behuizing | |||||
| Breedte | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Hoogte | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Diepte | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Gewicht | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Beschermingsgraad IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Koelingsvereisten | |||||
| Koelmedium | Water | Water | Water | Water | Water |
| Max. waterdruk | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. drukverschil | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. doorstroomhoeveelheid | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Temperatuur koelmiddel | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Algemeen | |||||
| Totaal rendement | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Omgevingsvoorwaarden | |||||
| Buitentemperatuur | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Luchtvochtigheid | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrische druk | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Perfecte coatings, hoge productiviteit
Het volledig digitale vlamboogbeheer met zeer lage vlamboogenergie maakt hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden mogelijk. Ook bij veeleisende reactieve processen garandeert de TruPlasma Bipolar-serie 4000 (G2) steeds een gelijkmatige processtroomtoevoer en dus een stabiele plasmatoestand.
Meer flexibiliteit, lagere kosten
Met instelbare golfvormen kunt u de generatoren uit de TruPlasma Bipolar-serie 4000 (G2) heel eenvoudig aanpassen aan verschillende proceseisen. Dankzij de flexibele keuze van het uitgangssignaal (DC, pulserend DC of bipolair) kunnen ze op allerlei manieren worden gebruikt en dragen ze er dus aan bij dat uw totale bedrijfskosten (TCO) dalen.
Alles in één behuizing
Dankzij de volledig in de tegen invloeden van buitenaf beschermde generatorbehuizing geïntegreerde waterkoeling zijn geen externe componenten nodig.
PVD Power
De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge tijdresolutie (oscilloscoopfunctie).
Door selectie van verschillende systeemcomponenten kunt u de bipolaire pulsgenerator perfect aan uw systeemomgeving aanpassen.
Er zijn verschillende kabel- en stekkeruitvoeringen beschikbaar voor verschillende aansluitingen.
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
