De luchtgekoelde HF-generator TruPlasma RF 1001 Air levert tot 1000 watt aan zeer nauwkeurige, reproduceerbare HF-energie met extreem fijne resolutie - in stappen van 100 mW - en is daarom geschikt voor een breed scala aan plasmatoepassingen. Of het nu gaat om de productie van halfgeleiders, zonnecellen of displays – de gepatenteerde TRUMPF Hüttinger-technologie garandeert dankzij moderne procesfuncties overal de hoogste betrouwbaarheid en de beste procesresultaten.
Garandeert een optimale en zeer snelle frequentieaanpassing en daarmee een optimale interactie tussen generator en aanpassingsnetwerk.
Veilige uitvoering van veeleisende en nieuwe processen garandeert de bescherming van uw product.
Meertraps, flexibele regeling van de pulsvorm voor betere procesresultaten in moderne plasmaprocessen.
Flexibel gebruik en vervanging van generatoren mogelijk bij proceswijzigingen of retrofits.
De gepatenteerde CombineLine-technologie garandeert een gelijkmatige procesprestatie dankzij een echte 50 ohm-uitgangsimpedantie.
Met verschillende vermogensklassen binnen de HF-productfamilie kunt u alle procesvereisten afdekken.
Bij proceswijzigingen of veranderingen aan het systeem is geen aanpassing van de kabellengte meer nodig.
De HF-generatoren van de TruPlasma RF Air Serie 1000 zijn ideaal voor plasmaprocessen zoals RIE, ALD, PECVD en RF-sputteren. Deze processen worden onder andere gebruikt bij de productie van halfgeleidercomponenten en micromechanische systemen (MEMS) en bij de coating van flatscreens en zonnecellen.
Typische toepassingsgebieden van de TruPlasma RF Air Serie 1000 zijn veeleisende PECVD-, ets- en HF-sputterprocessen in de zonne-energie-industrie.
Bij de productie van halfgeleiders worden verschillende plasmaprocessen gebruikt, van afneemprocessen en droogetsen tot vloeibarezonesmeltprocessen bij de productie van zuiver silicium. De generatoren uit de TruPlasma RF Air Serie 1000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.
Hoogste productiviteit en beschikbaarheid
Het flexibele, robuuste ontwerp van de HF-generator maakt een stijging van de doorloop en een reductie van de bedrijfskosten mogelijk.
Stabiele processen, reproduceerbare resultaten
De gepatenteerde CombineLine-technologie met slimme realtime matching garandeert een optimale beschikbaarheid van de TruPlasma RF 1001 Air en voorkomt plasmaschommelingen en verontreinigingen op betrouwbare wijze.
Compact en flexibel te gebruiken
Dankzij de compacte constructie (insteekeenheid van ½-19 inch) is de HF-generator zeer plaatsbesparend - perfect voor nieuwe installaties en als retrofitoplossing in bestaande installaties. De integratie is dankzij de talrijke beschikbare interfaces (configureerbare analoge interface, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zeer eenvoudig.
Nauwkeurig tot op de decimaal
Dankzij de nauwkeurige energiedosering in stappen van 100 mW kunt u met de TruPlasma RF 1001 Air ook in de modernste, meest veeleisende toepassingen zoals ALD, de beste resultaten bereiken. De uiterst precieze vermogensregeling van de HF-generator garandeert de beste wafer-to-wafer-herhaalbaarheid.
Beste procesresultaten dankzij moderne procesfuncties
Digitale besturingsfuncties zoals Smart Auto Frequency Tuning 2.0, boogbeheer en pulsen op meerdere niveaus zorgen ervoor dat de HF-generator optimaal kan worden aangepast aan het betreffende proces.
Flexibele aanpassing aan de toepassing van de klant
Er zijn verschillende vermogensklassen en frequenties beschikbaar in een uniform generatorontwerp, waardoor uitwisseling bij proceswijzigingen kinderspel is. Het aanpassen van de kabellengte is daardoor niet meer nodig.
Besturing van het volledige HF-systeem via de TRUMPF SystemPort
De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk, zodat alle meetwaarden steeds beschikbaar zijn voor de HF-generator. De procesparameters worden continu bewaakt, het aanpassingsnetwerk wordt beschermd en een tijdige vlamboogherkenning wordt gewaarborgd.
De synchronisatiemodule maakt de flexibele en veilige synchronisatie van meerdere generatoren in complexe plasmasystemen mogelijk.
Het doordachte vlamboogbeheer waarborgt een optimale controle van het plasmaproces. Door een gerichte vlamboogherkenning neemt de productiviteit toe en worden product en installatie tegelijkertijd tegen schade beschermd.
De nieuwste plasmaprocessen vereisen meer flexibiliteit bij de pulswerking. Elke soort pulsvorm kan met de meertrapse, vrij te kiezen pulswerking bereikt worden. Dit leidt tot een nieuw besturingsmechanisme in de plasmafysica en tot betere procesresultaten.
De gepatenteerde Auto Frequency Tuning maakt een gelijktijdige en snelle frequentieaanpassing mogelijk tussen generator en aanpassingsnetwerk. De beste procesresultaten en de hoogste reproduceerbaarheid zijn daarmee gegarandeerd.
Web-GUI
De geïntegreerde webserver maakt zowel het bedrijf van het HF-systeem als ook software-updates via een webbrowser mogelijk.
TruControl Power
De toepassingsvriendelijke besturingssoftware maakt een comfortabele inbedrijfname en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
