Bộ khuếch đại laser TRUMPF

Xung laser tạo nền tảng cho việc sản xuất vi mạch trong tương lai.

Tới liên hệ

Công nghệ quang khắc siêu cực tím như một công cụ hỗ trợ cho thời đại kỹ thuật số

Công nghệ quang khắc siêu cực tím giành chiến thắng trong cuộc đua trở thành phương pháp sản xuất vi mạch trong tương lai. Trong nhiều năm, ngành công nghiệp bán dẫn đã tìm kiếm một phương pháp tiết kiệm chi phí và có thể sản xuất hàng loạt để đưa những cấu trúc nhỏ hơn lên các tấm mỏng silicon. ASML, Zeiss và TRUMPF đã cùng nhau phát triển công nghệ tạo ra ánh sáng siêu cực tím (EUV) có bước sóng 13,5 nanomet để sử dụng trong công nghiệp: Trong buồng chân không, máy tạo giọt bắn ra 50.000 giọt thiếc nhỏ nhất mỗi giây. Mỗi giọt này sẽ bị tác động bởi một trong 50.000 xung laser, biến đổi thành plasma. Quá trình này tạo ra ánh sáng bức xạ siêu cực tím được chiếu vào các tấm mỏng cần chiếu sáng thông qua gương. Xung laser cho phát xạ plasma được cung cấp bởi hệ thống laser CO₂-tạo xung được phát triển bởi TRUMPF - Bộ khuếch đại laser TRUMPF.

Từ vài watt đến 40 kilowatt

Bộ khuếch đại laser TRUMPF khuếch đại xung laser lần lượt lên hơn 10.000 lần.

Hiệu quả và an toàn về quy trình

Bằng cách phát ra xung trước và xung chính, toàn bộ công suất của bộ khuếch đại laser có thể được truyền đến giọt thiếc.

Ứng dụng mới cho laser CO₂

Hệ thống laser công suất cao này dựa trên laser CO2 hoạt động ở chế độ sóng liên tục. Với hệ thống này, TRUMPF đang tạo ra một ứng dụng mới cho công nghệ.

Mạng lưới chuyên gia lớn

Qua nhiều năm hợp tác chặt chẽ, TRUMPF, ASML và ZEISS đã đưa công nghệ EUV đến giai đoạn chín muồi trong công nghiệp.

Bộ phận

… chứa một bộ khuếch đại laser.

Mét

... Cáp được tích hợp vào hệ thống.

Ki lô

... là tổng trọng lượng.

Các thành phần trọng tâm của Bộ khuếch đại laser TRUMPF

High Power Seed Module (HPSM)

High Power Seed Module (HPSM) bao gồm hai laser hạt giống tạo ra các xung đầu ra vài watt, cũng như nhiều thành phần quang học chủ động và thụ động giúp định hình tia laser và đảm bảo độ rộng xung tối ưu. Ánh sáng được khuếch đại trước lên một cấp độ là 100 W bằng bộ khuếch đại thứ nhất. Laser hạt giống được bảo vệ tối ưu khỏi phản xạ ngược bằng cơ chế bảo vệ, do đó tính ổn định của hệ thống tổng thể được tăng lên đáng kể và có thể đạt được công suất EUV không đổi cần thiết.

High Power Amplification Chain (HPAC)

High Power Amplification Chain (HPAC) bao gồm bốn bộ cộng hưởng để tăng cường công suất, được kết nối với nhau bằng các phần tử dẫn tia. Mỗi bộ cộng hưởng được tối ưu hóa cho từng giai đoạn khuếch đại tương ứng (ví dụ: quạt thổi, kích thích bằng RF, hỗn hợp khí, hệ thống dẫn tia). Ba mạch làm mát khác biệt đảm bảo độ ổn định cần thiết của hệ thống. Các xung ngắn cung cấp công suất đầu ra cực đại trong khoảng MW. Hệ thống đo lường trực tuyến toàn diện tạo nền tảng để đo tia liên tục.

TRUMPF Laser Amplifier Beam Transport System

Beam Transport System (BTS)

Beam Transport System (BTS) - bao gồm một tấm lắp ráp, kính tiềm vọng và gương – vận chuyển tia laser lên đến 30 mét về phía buồng chứa giọt. Về cơ bản, cả độ ổn định cơ học của hệ thống dưới tải công suất cao và độ kín khí của hệ thống dẫn tia đều rất cần thiết để giảm thiểu sự hấp thụ và nhiễm bẩn. Các gương được phủ một lớp phủ đặc biệt để giảm thiểu sự hấp thụ ánh sáng laser.

Optical Platform FFA (Final Focusing Assembly)

FFA bao gồm hai thành phần hệ thống: Nền quang học và Đơn vị hội tụ. Để tạo ra tia plasma lý tưởng, xung laser phải gần như chiếu trúng hoàn toàn vào giọt thiếc. Tuy nhiên, vì giọt thiếc nhỏ hơn đường kính của tia laser nên xung trước và xung chính được tách ra trong Nền quang học và được định hình để tạo EUV tối ưu. Ban đầu, xung trước tác động vào giọt thiếc với công suất xung thấp hơn, khiến giọt thiếc nở ra thành cấu trúc hình đĩa và tăng diện tích bề mặt của nó. Xung chính kéo theo được hấp thụ bởi lớp màng chất lỏng tạo thành, plasma thực xuất hiện để tạo ra bức xạ EUV. Theo cách này, công suất laser 40 kilowatt được sử dụng hiệu quả và đảm bảo tạo ra tia chớp plasma đáng tin cậy để chiếu sáng. Đơn vị hội tụ đảm bảo hội tụ tối ưu ánh sáng laser vào giọt thiếc.

Liên hệ

Hệ thống laser công suất cao quang khắc siêu cực tím

Điện thoại +49 7156 30330446

E-Mail