TruPlasma RF 3000シリーズ

出力ロスの半減と、優れた効率による冷却水の使用量削減 – これにより運転コストが最小限に抑えられます。ジェネレータの構造は極めて頑強であるため、注意を要するプロセスにおいても長い運転時間が可能になり、その結果コーティング率が上昇します。真の50 Ω出力インピーダンスを実現するCombineLineテクノロジーにより、プラズマ変動を効果的に防止 – こうして完全に安定したプロセスが可能になります。

強靭な構造により、プロセスにおける最大限の信頼性と生産性を実現します。100 %の不整合保護は、負荷状態が限界に近づいた場合でも確実な運転を保証します。連続的またはパルスから選択可能な出力放出により、幅広いプロセス要件に対応します。世界中で既に20,000以上のユニットが設置されており、この数を超えるプラズマ電力供給装置は他にはありません。

SystemPortは、マッチボックスの入力/出力で直接RF信号を測定することにより、クローズドループ制御を可能にします。高周波RFジェネレータに、全ての測定値が提供されます。これによりプロセスパラメータの監視が改善され、マッチボックスの保護及び早期アーク検出を保証することができます。つまり、RFシステム全体を単一のジェネレータインタフェースで制御することができます。

プラズマプロセスは、複雑な変動性負荷のような挙動を示し、ジェネレータからの継続的な電力供給を必要とします。この役割を担うアクティブな調整ネットワーク、いわゆるマッチボックスにより、50 Ωの最適なインピーダンスへの正確な調整が常に保証されます。こうして、完璧に相互調整されたシステムソリューションであるTRUMPF RFシステムが実現されます。EtherCATなど様々なインタフェースを介して、ジェネレータとマッチボックスを既存のプロセス環境に極めて容易に統合することができます。いわゆるSzstemPortと呼ばれるインテリジェントなジェネレータマッチボックス接続ポートにより、最適化されたシステムソリューションが可能になります。