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自動周波数チューニング
プラズマのインピーダンス範囲での急激な変動に対する措置のひとつが、自動周波数チューニングです。ここでは、RFジェネレーターの基本振動が1ミリ秒以内により適切な周波数値に合わせて調整されます。
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加工での精度
益々進む小型化を保証するには、半導体製造プロセスの継続的な改善が前提条件になります。これはRFジェネレーターにとって、信号品質を出力と時間分解能に関して常に高めていかなければならないことを意味しています。

お客様向け情報

RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
リアルタイム測定によるインテリジェントなマッチング

TruPlasma Match 1000 (G2/13) シリーズの新型マッチボックスは、高周波RFジェネレータを最適に補完し、TRUMPF RFシステムというトータルソリューションの実現に貢献します。

広い面積に及ぶコーティングに理想的
プラズマプロセス向け電力供給

TRUMPF Hüttingerでは、幅広い範囲の出力と周波数を備えたプラズマジェネレータを提供しています。こちらでは当社製品についてご紹介しています。

自動車産業
自動車

TRUMPFのソリューションを使用すれば、革新的な製法、新素材並びに代替駆動システムという自動車業界での重要なテーマに最適に対応することができます。

問い合わせ
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サービス
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