プロセスを完全に掌握
TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズを使用すると、プロセスを常に掌握することができます。卓越したアーク管理と点火動作を特徴とするこのジェネレータは、広い面積に及ぶコーティング (Large Area Coating)、及びデュアルマグネトロンスパッタリングにおける難度の高い反応性プロセス向けの電力供給として理想的です。90 %を超える最高効率と特に効率的な冷却水管理により、運転中も優れた経済性を確保できます。
最も困難な反応性プロセスでも優れた結果とコーティング率を提供します。
ピーク効率は90 %を上回り、運転効率は80 %に到達します。
冷却水温度が高く、差圧が低い場合も確実に機能
可変接続電圧、つまり技術的調整は不要。
最高クラスのMF電力供給
建築用ガラスの広い面積に及ぶコーティング (Large Area Coating): SiOxなどの難度の高い材料では、電力供給の安定性に対する要求が極めて高くなります。
超薄膜のコーティング
フラットスクリーンとタッチパネルのコーティング: デュアルマグネトロンスパッタリングにより、極めて薄く (nm単位)、高強度で均一なAlxOx層が蒸着されます。
ソーラーセル製造
ソーラーガラスのコーティング: TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズの電力供給は安定しているため、MFスパッタリングにより極めて薄いTCO層を均一に成膜することができます。
最高の経済性とフレキシビリティー
TruPlasma MF Serie 7000 (G2) の高い運転効率と柔軟な冷却コンセプトにより、寿命全体を通して最高の経済性が約束されます。過酷な気候条件および設置条件下でも、安定した電力供給が常に維持されます – 冷却水温度が高く、水圧が低く、湿度が高い場合もプロセス品質は低下しません。動作電圧範囲が幅広いため、中周波ジェネレータは技術的調整なしで世界中で使用できます。
プロセスの正確な制御
わずかなパラメータ設定だけで、コーティング品質と生産性を正確に制御することができます。その結果、アーク処理の感度と希望のスループットとの最適なバランスが得られます。さらに、多数のインタフェースと快適な操作ソフトウェアTruControl Powerにより、構成と診断を効果的に行うことができます。
卓越したアーク管理
高い反応速度とそれに応じて低下した残留エネルギーは、安定したプロセスと最高のスパッタ率を実現します。ジェネレータは、ターゲットでのアーク形成と熱ストレスを確実に検知して防止します。その結果、基板面全体にわたり完全に均一なコーティングを得ることができます。さらに迅速で信頼性の高いアーク管理により、電圧制御された移行領域 (移行モード) で、ジェネレータを支障なく運転することができます。
TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズには、広範囲に及ぶオプションが提供されており、これらを利用することにより、中周波ジェネレータをご自分のアプリケーション要件に合わせてカスタマイズできます。
湿度が極めて高い環境では、ジェネレータのスイッチキャビネットにアクティブ除湿ユニットを装備することができます。運転には冷却水制御が必要です。
オプションで、180°の特に広い開口角度を持つスイッチキャビネットドアが入手可能です (標準は130°)。
Profinet、Profibus、EtherCAT並びにアナログ及びデジタルのインタフェースにより、TruPlasma MF 7000シリーズを既存の設備に簡単に統合することができます。
TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズには、特に高感度のアーク管理を装備できます (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW、標準 ≤ 10 mJ/kW)。UltraFastTreatmentには安全カテゴリー3が必要です。
これによりアーク発生と熱ストレスが低下します。点火電圧とランプタイムは個別に調節可能です。
出力100 kWまでの中周波ジェネレータでは、周波数範囲を20～70 kHzに拡張したオプション仕様を提供しています (標準は20～50 kHz)。
TruControl Power
使いやすく、複数の言語に対応する制御ソフトウェアTruControl Powerにより、様々な操作、構成および診断が可能です。
適したシステムコンポーネントを選択することで、TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズをお使いのシステム環境に合わせて最適にカスタマイズできます。
国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。
