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プラズマ励起

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) シリーズ

柔軟な波形による最大出力

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TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) シリーズ

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極めて高い要求を満たすバイポーラテクノロジー

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) シリーズのプロセス電力供給は、PVD、PECVDおよび反応性スパッタリングプロセスによるプラズマコーティング専用に開発されました。柔軟に成形可能な出力信号と洗練されたアーク管理により、この最新世代のバイポーラパルス電源は、非常に多くの用途に使用できます。半導体およびソーラーセルの製造や建築用ガラスのコーティングなど、どのようなケースでも、コーティング品質とコーティング率に関しては最高性能が約束されます。

極めてわずかなアークエネルギー

最高のコーティング品質と生産性を実現する完全デジタル式のアーク管理

調整可能な波形

様々な出力信号により異なるプロセスに合わせて容易にカスタマイズ可能

1つのジェネレータで多数のアプリケーションに対応

直流、パルス直流、バイポーラ: 多様な設定オプションでコスト削減

内蔵型水冷

外部コンポーネントは不要であるため非常に省スペース

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) の典型的な使用領域: 耐摩耗性コーティングの製造

最高クラスの電力供給

典型的な使用領域は、半導体と太陽光発電部品の生産、建築用ガラスのコーティング、ならびに装飾的で耐摩耗性の高い最高品質膜の製造です。その際、特にPVDおよびPECVDプロセスが使用されます。

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出力
定格出力	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
最大出力電流	25 A eff	50 A eff	75 A eff	100 A eff	150 A eff
最大出力電圧	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff
定格動作周波数	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
アークパラメータ
最大アークレート	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s
アークエネルギー	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW
照射圧力
照射サポートを含む	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
電源接続データ
供給電圧	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
電源周波数	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
出力係数	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
通信インターフェース
アナログ/デジタル	はい	はい	はい	はい	はい
RS 232 / RS 485	はい	はい	はい	はい	はい
PROFIBUS	はい	はい	はい	はい	はい
EtherCAT	はい	はい	はい -	はい	はい
DeviceNet	はい	はい	はい -	はい	はい
ハウジング
幅	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
高さ	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
深さ	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
重量	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
保護タイプ IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
冷却要件
冷媒	水	水	水	水	水
最大水圧	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
最小圧力差	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
冷媒温度	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
一般
全体効率	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
環境条件
外部温度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
湿度	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
気圧	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa

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出力
定格出力	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
最大出力電流	25 A eff	50 A eff	75 A eff	100 A eff	150 A eff
最大出力電圧	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff
定格動作周波数	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
アークパラメータ
最大アークレート	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s
アークエネルギー	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW
照射圧力
照射サポートを含む	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
電源接続データ
供給電圧	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
電源周波数	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
出力係数	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
通信インターフェース
アナログ/デジタル	はい	はい	はい	はい	はい
RS 232 / RS 485	はい	はい	はい	はい	はい
PROFIBUS	はい	はい	はい	はい	はい
EtherCAT	はい	はい	はい -	はい	はい
DeviceNet	はい	はい	はい -	はい	はい
ハウジング
幅	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
高さ	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
深さ	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
重量	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
保護タイプ IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
冷却要件
冷媒	水	水	水	水	水
最大水圧	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
最小圧力差	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
冷媒温度	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
一般
全体効率	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
環境条件
外部温度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
湿度	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
気圧	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa

技術データシート

ダウンロード形式で用意された全製品バリエーションの技術データ。

完璧な膜、高い生産性

フルデジタルアーク管理は、極めてわずかなアークエネルギーで、高い膜品質と析出率を実現します。TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) は、難度の高い反応性プロセスにおいても常に均一なプロセス電力供給を確保し、安定したプラズマ状態を保証します。

フレキシビリティーの向上、費用削減

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) のジェネレータは、波形を調整することにより、様々なプロセス要件に合わせて非常に簡単にカスタマイズできます。出力信号 (直流、パルス直流またはバイポーラ) は柔軟に選択できるため、ジェネレータを様々な用途に使用できるようになり、トータル運用コスト (TCO) の削減にもつながります。

1体のハウジングにすべてを統合

水冷は環境要因から保護されたジェネレータハウジングに完全に内蔵されているため、外部コンポーネントは不要です。

PVD Power

使いやすく、複数の言語に対応するソフトウェアPVD Powerにより、プロセス品質の最適化と効果的なトラブルシューティングを目的として、様々な操作、構成及び診断を行うことができます: 関連する全プロセスパラメータの実測値、警告、アラームメッセージの表示、オペレータによる規定値の指定、及び高い時間分解能による重要な運転パラメータの記録と可視化 (オシロスコープ機能)。

様々なシステムコンポーネントを選択することで、バイポーラパルスジェネレータをお使いのシステム環境に合わせて最適にカスタマイズできます。