Robustní a výkonný generátor plazmatu solid state power pro velmi vysoké hustoty plazmatu a procesní požadavky
Generátory série TruPlasma MW se opírají o technologii solid state a dosahují výrazně vyšší přesnosti frekvence než mikrovlnné generátory na bázi magnetronu. Inovativní koncepce platformy může generovat velmi vysoké hustoty plazmatu a efektivně a hospodárně realizovat i velmi náročné procesní požadavky. Modulární konstrukce umožňuje navíc přesné odstupňování výstupního výkonu. Elektrické napájení přitom zůstává stále stabilní, bez jakéhokoli negativního ovlivnění kvality procesu. Ve výrobě polovodičů, solárních článků a displejů zajišťuje série TruPlasma MW díky moderním procesním funkcím vynikající výsledky a maximální spolehlivost.
Inovativní formování pulzu v pásmu nanosekund umožňuje vynikající kontrolu plazmových procesů.
Automatické přizpůsobení frekvence zaručuje optimální výsledek procesu a vysokou opakovatelnost.
V multianténových systémech lze fázově synchronně provozovat a řídit impulzy různých generátorů. Změnou reference fází mezi jednotlivými generátory lze dosáhnout velkoplošné homogenity plazmatu.
Spolehněte se na fungování generátoru – ani u nesprávného přizpůsobení není negativně ovlivněna kvalita procesu.
Profitujte z vysoce přesné, digitální modulace frekvence, která zajišťuje opakovatelné procesní výsledky, maximální kvalitu vrstev a produktivitu.
Díky digitálnímu rozhraní EtherCat můžete zařízení velmi rychle řídit během milisekundy. To umožňuje precizní rozdělení plazmatu.
Výroba solárních článků
V oblasti fotovoltaiky se používají plazmatické procesy jako naprašování nebo PECVD pro nanášení nebo úběr materiálu. Generátory série TruPlasma MW lze rychle přizpůsobit různým procesům a zaručují vysokou produktivitu a prvotřídní výsledky procesů. Díky preciznímu dávkování energie se dosahuje vynikajících výsledků i u nejmodernějších, velmi náročných aplikací. Vysoce přesná regulace výkonu přitom umožňuje vynikající opakovatelnost waferů.
Výroba polovodičů
Generátory plazmatu se používají pro různé plazmatické procesy při výrobě polovodičů – od suchého leptání až po zónální tavení při výrobě křemíku. Naše série TruPlasma MW nabízí optimalizované napájení elektrickým proudem pro všechny tyto procesy
Povlakování plochých monitorů
Při povlakování plochých monitorů ukážou naše generátory TruPlasma MW své silné stránky v plazmatických procesech jako PECVD, ALD a RIE.
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
