Vzduchem chlazený vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 1001 Air dodává až do 1000 wattů vysoce přesnou, reprodukovatelnou vysokofrekvenční energii s extra jemným rozlišením – po 100mW krocích – a tím je vhodný pro nejrůznější plazmové aplikace. Bez ohledu na to, zda se používá při výrobě polovodičů, solárních článků nebo displejů – patentovaná technologie TRUMPF Hüttinger zaručuje všude maximální spolehlivost a nejlepší procesní výsledky díky moderním procesním funkcím.
Zaručuje optimální a velmi rychlé přizpůsobení frekvence a tím také optimální souhru generátoru a přizpůsobovací sítě.
Bezpečné vedení i náročných a nových procesů zaručuje ochranu vašeho produktu.
Víceúrovňové, flexibilní řízení tvaru impulzu pro lepší procesní výsledky v moderních plazmových procesech.
Flexibilní použití a výměna generátorů u procesních změn nebo retrofitu.
Patentovaná technologie CombineLine zaručuje rovnoměrný procesní výkon díky skutečné výstupní impendanci 50 ohmů.
S různými výkonovými třídami v rámci vysokofrekvenční produktové rodiny lze pokrýt veškeré procesní požadavky.
U procesních změn nebo změn v systému není zapotřebí úprava délky kabelu.
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma série RF Air 1000 se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při výrobě konstrukčních prvků polovodičů a mikromechanických systémů (MEMS) i při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.
Typické oblasti použití TruPlasma RF Air série 1000 jsou náročné procesy PECVD, leptání a vysokofrekvenční procesy naprašování vrstev v solárním průmyslu.
Při výrobě polovodičů se používají různé plazmové procesy, od procesů odstraňování pomocí suchého leptání až po proces tavby letmou zónou při výrobě nejčistšího křemíku. Generátory TruPlasma RF Air série 1000 nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících, opakovatelných výsledků.
Maximální produktivita a disponibilita
Flexibilní, robustní design vysokofrekvenčních generátorů umožňuje zvyšování propustnosti a redukování provozních nákladů.
Stabilní procesy, reprodukovatelné výsledky
Patentovaná technologie CombineLine s inteligentním přizpůsobováním v reálném čase zaručuje optimální dostupnost TruPlasma RF 1001 Air a zabraňuje spolehlivě plazmovým výkyvům a vzniku nečistot.
Kompaktní a flexibilní použití
Díky kompaktní konstrukci (½-19palcový vsuv) je vysokofrekvenční generátor velmi prostorově úsporný – ideálně vhodné u nových instalací a jako retrofitní řešení ve stávajících zařízeních. Integrace je díky velkému počtu dostupných rozhraní (konfigurovatelné analogové rozhraní, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) velmi snadná.
Na desetinnou čárku přesné
Díky přesnému dávkování energie po 100mW krocích lze pomocí TruPlasma RF 1001 Air dosáhnout nejlepších výsledků také v nejmodernějších, nejnáročnějších aplikacích jako např. ALD. Vysoce přesná regulace výkonu vysokofrekvenčního generátoru zaručuje nejlepší reprodukovatelnost wafer-to-wafer.
Nejlepší procesní výsledky díky modernějším procesním funkcím
Digitální řídící funkce jako např. Smart Auto Frequency Tuning 2.0, správa elektrického oblouku a víceúrovňové pulzování umožňují optimální přizpůsobení vysokofrekvenčního generátoru podle příslušného procesu.
Flexibilní přizpůsobení podle požadavků zákazníka
V jednotném designu generátoru jsou dostupné různé výkonnostní třídy a frekvence, proto lze při procesních změnách provést snadnou výměnu. Není vyžadována ani úprava délky kabelu.
Řízení komplexního vysokofrekvenčního systému pomocí SystemPort TRUMPF
SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu přizpůsobovací sítě, tak aby měl vysokofrekvenční generátor vždy k dispozici veškeré měřené hodnoty. Procesní parametry jsou neustále monitorovány, přizpůsobovací síť chráněna a zaručeno včasné rozpoznávání elektrického oblouku.
Synchronizační modul umožňuje flexibilní a bezpečnější synchronizaci několika generátorů v komplexních plazmových systémech.
Promyšlená správa elektrického oblouku zaručuje optimální kontrolu plazmového procesu. Díky cílenému rozpoznávání elektrického oblouku se zvyšuje produktivita, zároveň je chráněn produkt a zařízení před poškozením.
Nejnovější plazmové procesy vyžadují větší flexibilitu při pulzním provozu. Pomocí vícestupňového, volně nastavitelného pulzového provozu lze dosáhnout každého druhu tvaru impulzu. To vede k novému řídicímu mechanismu v plazmové fyzice a k lepším procesním výsledkům.
Patentované řešení Auto Frequency Tuning umožňuje simultánní a rychlé přizpůsobení frekvence a zaručuje optimální souhru generátoru a přizpůsobovací sítě. Nejlepší procesní výsledky a maximální opakovatelnost jsou tímto zaručeny.
Webové grafické uživatelské rozhraní
Integrovaný webový server umožňuje jak provoz vysokofrekvenčního systému tak také aktualizace softwaru pomocí webového prohlížeče.
TruControl Power
Uživatelsky přívětivý řídicí software umožňuje pohodlné uvedení do provozu a bezpečnou kontrolu vysokofrekvenčního generátoru, příp. celého TRUMPF RF systému za provozu.
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
