Първият избор за HiPIMS приложения
Генераторите TruPlasma Highpulse серия 4000 (G2) могат да се използват като алтернатива на постояннотоковите генератори за разпрашаване в съществуващи магнетронни системи, без да трябва да се извършват модификации. Те осигуряват особено устойчиви на корозия и износоустойчиви твърдосплавни покрития и затова са първият избор за приложения за High Power Impulse Magnetron разпрашаване.
Отлични пикови мощности от до 4 мегавата генерират екстремна плътност на плазмата с високи йонни потоци.
Лесното адаптиране към съществуващите катодни системи и условия на процедите позволява оптимално внедряване в устройства.
Като най-новата разработка при импулсната PVD технология за разпрашаване HIPIMS осигурява особено устойчиви на корозия и износоустойчиви твърдосплавни покрития.
Може да се използва и в DC режим, не е необходим допълнителен постояннотоков генератор.
Твърдосплавни покрития
Чрез нанасянето на функционални слоеве изложените на високи натоварвания детайли придобиват повишена повърхностна твърдост и устойчивост на триене, както и по-добра термична и химична стабилност. Генераторите TruPlasma Highpulse серия 4000 (G2) се грижат за изключително стабилен процес с използване на плазма и по този начин за отлично качество на слоя.
Полупроводници/фотоволтаици
В областта на фотоволтаиците и полупроводниците съществуват редица области на приложения за прецизна енергия за процесите. Генераторите TruPlasma Highpulse серия 4000 (G2) могат да се адаптират оптимално за съответния процес и позволяват отлични параметри на покритията и висока производителност.
Покрития на стъкло
Нанасянето на покрития на голяма площ на архитектурно стъкло с PVD процес с плазмена технология поставя много високи изисквания към електрозахранването на процеса. Генераторите TruPlasma Highpulse серия 4000 (G2) предлагат идеалните предпоставки за висококачествен резултат от нанасянето на покритието.
Оптимални резултати от процесите
Високите върхови мощности генерират високо йонизирана плазма и позволява високи йонни потоци. Така могат да се получават много кохерентни и плътни филми без капки. В комбинация с поляризираните конфигурации на субстрата, генераторите TruPlasma Highpulse серия 4000 (G2) осигуряват превъзходни резултати в приложения за ецване и Trench-filling.
Изцяло цифрово управление на дъгата
Регулируемата продължителност и честота на импулса, разширените параметри на мощността и изцяло цифровото управление с много ниска енергия на дъгата позволяват разпрашаване без капки, минимални дефекти на филма и гарантират високо качество на слоевете и скорости на нанасяне на покрития.
Отлични покрития
Високата енергия и високите напрежения от до 2 kV позволяват производството на висококачествени покрития – както в малки лаборатории, така и в големи промишлени инсталации. Импулсите от до 5 ms и честотите до 10 kHz увеличават скоростите на отлагане и по този начин спомагат за намаляване на общите експлоатационни разходи.
Висока стабилност на процеса
Регулирането на мощността с регулируемата честота се грижат за това параметрите на отлагане да останат константни дори и при взискателни реактивни процеси. По този начин процесите остават стабилни в продължение на часове и дни, без да е необходима намеса.
Компактен модул
Генераторите от серията TruPlasma Highpulse представляват модули с компактен размер. Те не изискват външно постояннотоково захранване, изцяло с водно охлаждане са и по този начин позволяват работата в стерилни помещения.
Различните опции гарантират оптимално адаптиране на TruPlasma Highpulse серия 4000 (G2) към Вашето приложение.
Изцяло цифровото управление на дъгата с много ниска енергия на дъгата позволява високо качество на слоевете и скорости на нанасяне на покрития.
PVD Power
Лесният за работа многоезичен софтуер PVD Power Ви предлага множество възможности за управление, конфигуриране и диагностика за оптимизиране на качеството на процеса и ефективно отстраняване на неизправности: показване на действителните стойности за всички приложими параметри на процеса, както и на предупреждения и алармени съобщения, предварително дефиниране на зададени стойности от оператора и запис и визуализация на важните работни параметри с висока разделителна способност на времето (функция осцилоскоп).
Възможни са отклонения от този продуктов асортимент и от тези данни в зависимост от държавата. Запазваме си правото на изменения в технологията, оборудването, цената или предложението за окомплектоване. Моля, свържете се с Вашия местен търговски представител, за да научите дали продуктът се предлага във Вашата страна.
