Високочестотни генератори от най-ново поколение
При нанасянето на покрития или структурирането на повърхности от решаващо значение е стабилното и повторяемо захранване с ток на плазмата. Оборудваните със съвременна силова електроника високочестотни генератори TruPlasma RF серия 1000/3000 (G2/13) осигуряват най-добрите предпоставки за това: благодарение на своята стабилна изходяща мощност и висока прецизност на регулирането те Ви осигуряват най-добрите резултати при едновременно висока производителност.
Технологията CombineLine: оптимална мощност на процеса благодарение на действителния изходящ импеданс 50 Ohm.
Вече не е необходимо адаптиране на дължината на кабела – абсолютна новост в областта на високочестотното оборудване!
Технологията CombineLine: надеждна защита срещу отразена мощност при неправилно адаптиране.
Коефициентите на полезно действие до 80% позволяват понижаване на разходите за енергия с до 50%.
Без загряване или замърсяване на околния въздух, следователно е възможна експлоатация в чисти помещения.
Идеални за нанасяне на покрития на плоски екрани
Високочестотните генератори TruPlasma серия RF 1000/3000 (G2/13) са идеални за процеси с плазмена технология, като RIE, ALD, PECVD и RF разпрашаване. Тези технологии се използват също за производството на полупроводникови елементи и микромеханични системи (MEMS), както и при нанасянето на покрития на плоски екрани и соларни клетки.
Типична област на приложение: соларната индустрия
Типични области на приложение на TruPlasma RF серия 1000/3000 (G2/13) са сложните PECVD процеси, процеси на ецване и високочестотно разпрашаване в соларната индустрия.
Производство на полупроводници
При производството на полупроводници се използват различни процеси с плазмена технология – от процеси на отнемане на материал, през сухо ецване, до зонално стапяне при производството на чист силиций. Генераторите TruPlasma RF серия 1000/3000 (G2/13) предлагат всички предпоставки за стабилно и оптимално адаптирано за съответния процес електрозахранване, за да се постигнат отлични повторяеми резултати.
Оптимално адаптиране към Вашия процес
Интелигентното съгласуване в реално време на TruPlasma RF серия 1000/3000 (G2/13) осигурява бързо и директно адаптиране на импеданса към 50 Ohm. Колебанията в плазмата и замърсяванията се предотвратяват надеждно от патентованата технология CombineLine, концепцията за охлаждане без вентилатор понижава честотата на неизправностите, повишава ефективността и позволява използването в чисти помещения.
Максимална ефективност и гъвкавост
Благодарение на високите коефициенти на полезно действие от до 80% понижавате Вашите разходи за енергия с до 50% в сравнение със стандартните генератори. Множеството налични интерфейси (конфигурируем аналогов интерфейс, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) улесняват интегрирането в съществуващите системи, а благодарение на интегрираните мрежови части с ултраширок диапазон на мрежата (200 – 480 VAC) не са необходими адаптирания на техническите характеристики. Компактната независимо от високата плътност на мощността конструкция (19 инча, съотв. ½-19 инча монтажен модул) позволява икономисващо място интегриране във всяка производствена система.
TRUMPF SystemPort
SystemPort позволява затворен кръг за регулиране чрез измерване на RF сигнала директно на входа и на изхода на Matchbox. Всички измерени стойности се подават към RF генератора. По този начин параметрите на процеса се следят по-добре, Matchbox се предпазва и се осигурява ранно разпознаване на дъга. Така цялата RF система може да се управлява с един единствен интерфейс на генератора.
Различните опции Ви позволяват оптимално адаптиране високочестотния генератор в зависимост от Вашето приложение.
Патентованото решение Auto Frequency Tuning позволява едновременно и бързо адаптиране на честотата и гарантира оптимално съгласуване на генератора и Matchbox. С помощта на тази патентована технология локалният минимум вече не е пречка: RF системата се насочва към оптималните характеристики и това позволява най-добрите резултати от процесите и високо ниво на повторяемост.
Специално разработеното управление на дъгата е идеалният модул за оптимален контрол на процесите с плазмена технология. Целево разпознаване на дъгата гарантира максимална производителност и едновременно с това предпазва продукта и системата.
Всички компоненти на RF системата от TRUMPF са оптимално съгласувани.
Перфектно съгласувани: RF системата от TRUMPF
Процесите с плазмена технология имат поведението на комплексен променлив товар, който трябва да се компенсира постоянно от генератора. Това се извършва от активните адаптиращи мрежи, така наречените Matchbox, които осигуряват постоянно адаптиране към оптималния импеданс 50 Ohm. Така се получава перфектно съгласувано системно решение, RF системата TRUMPF. С помощта на различни интерфейси, включително EtherCAT, можете много лесно да интегрирате генератора и Matchbox във Вашата съществуваща среда на процеса и да постигнете оптимално системно решение с помощта на интелигентна връзка генератор-Matchbox, така наречения SystemPort.
Възможни са отклонения от този продуктов асортимент и от тези данни в зависимост от държавата. Запазваме си правото на изменения в технологията, оборудването, цената или предложението за окомплектоване. Моля, свържете се с Вашия местен търговски представител, за да научите дали продуктът се предлага във Вашата страна.
