RF системно решение от едно място
Новите Matchbox TruPlasma Match серия 1000 (G2/13) представляват идеалното допълнение на високочестотните генератори от TRUMPF Hüttinger. Благодарение на интелигентния алгоритъм за съгласуване и цифровата платформа за управление за следене на процеса се получава цялостно решение, при което всички компоненти си взаимодействат – RF системата от TRUMPF.
Бързо, стабилно и повторяемо адаптиране на импеданса до 50 Ohm дори при критични процеси.
Прогресивен софтуер и подобрена комуникация между генератора и Matchbox.
Бързо наваксване на системата при всяка промяна на импеданса от Matchbox и товара.
Оптимално следене на параметрите на процеса, както и предварително разпознаване на дъгата.
Графичен управляващ интерфейс и ефективни инструменти (Смит диаграма, осцилоскоп в реално време).
Производство на полупроводници, соларни клетки и плоски екрани
Стабилните процеси с плазмена технология са от решаващо значение при производството на полупроводници, соларни клетки и плоски екрани. В комбинация с високочестотните генератори от TRUMPF Hüttinger Matchbox TruPlasma Match серия 1000 (G2/13) предлагат цялостно решение за максимална стабилност на процеса и производителност.
Нанасяне на твърдосплавни и износоустойчиви покрития
Чрез нанасянето на функционални слоеве изложените на високи натоварвания детайли придобиват повишена механична твърдост, както и по-добра термична и химична стабилност. Matchbox TruPlasma Match серия 1000 (G2/13) в комбинация с високочестотен генератор от TRUMPF Hüttinger осигуряват перфектно качество на слоя.
Снемане на материал и нанасяне на покрития на повърхности
Matchbox TruPlasma Match серия 1000 (G2/13) могат да се използват във всички обичайни процеси с плазмена технология за нанасяне на покрития или отнемане на материал от повърхности – например плазмено ецване, реактивно йонно ецване, ALD, PECVD, RF разпрашаване или плазмено изпичане на фотобоя. В комбинация с високочестотен генератор от TRUMPF Hüttinger по този начин се постигат оптимални резултати от процесите.
Перфектен контрол на процеса по всяко време
Matchbox осигурява постоянно бързо и директно адаптиране на импеданса до 50 Ohm – така се гарантира винаги отдаване на пълната мощност на високочестотния генератор в процеса. Директната комуникация между Matchbox и генератора позволява оптимално следене на процеса и ранно разпознаване на дъга.
Следене на всички параметри
Измерване на високочестотната входяща и изходяща мощност в реално време сигнализира за динамичните изменения на импеданса, сензорите на охлаждането позволяват надеждна прогноза за загубата на мощност. Благодарение на графичния управляващ софтуер със сложни опции за визуализация (Смит диаграма, осцилоскоп в реално време) можете да следите постоянно всички приложими параметри на процеса.
TRUMPF SystemPort
SystemPort позволява затворен кръг за регулиране чрез измерване на RF сигнала директно на входа и на изхода на Matchbox. Всички измерени стойности се подават към RF генератора. По този начин параметрите на процеса се следят по-добре, Matchbox се предпазва и се осигурява ранно разпознаване на дъга. Така цялата RF система може да се управлява с един единствен интерфейс на генератора.
Прецизно измерване на променливия ток за разпознаване на аномалии на плазмата, разположено в Matchbox в близост до процеса, директно при камерата.
Като опционални интерфейси предлагат аналогов/цифров интерфейс, PROFIBUS и EtherCAT. Стандартни са EtherNet, SystemPort и RS232/485.
Специално разработеното управление на дъгата е идеалният модул за оптимален контрол на процесите с плазмена технология. Целево разпознаване на дъгата гарантира максимална производителност и едновременно с това предпазва продукта и системата.
Графичен управляващ софтуер
Сложните графични изображения позволяват обширно управление на всички приложими параметри на процеса. Импедансът на товара и Matchbox се визуализират с помощта на Смит диаграма, а високочестотната входяща и изходяща мощност, включително положението на честотата и фазата, се визуализират с помощта на осцилоскоп в реално време.
TruControl Power
Лесният за използване софтуер за управление TruControl Power позволява комфортно пускане в експлоатация и надеждно следене на високочестотния генератор, съотв. на цялата RF система от TRUMPF, по време на изпълнение на процеса.
Сложните графични изображения позволяват обширно управление на всички приложими параметри на процеса. Импедансът на товара и Matchbox се визуализират с помощта на Смит диаграма, а високочестотната входяща и изходяща мощност, включително положението на честотата и фазата, се визуализират с помощта на осцилоскоп в реално време.
С помощта на основни осцилатори е възможно стабилизирането и оптимизирането на критични синхронни процеси с плазмена технология. Интегриран цифров честотен и фазов синтезатор осигурява висока стабилност на честотата и фазата и позволява настройването на положението на фазата със стъпки с много малка ширина. Можете да избирате между различни изпълнения на основни осцилатори за честота 13,56 MHz, както и различни комбинации от честоти.
Високочестотен комутатор позволява многократното използване на високочестотен генератор за различни станции от процеса с плазмена технология, например за електрозахранване на последователни процеси или за системи с различни точки на захранване. Предлагат се различни високочестотни комутатори в два мощностни класа, както и с 2, 3 или 4 изхода.
За прехвърлянето на високочестотната мощност TRUMPF Hüttinger предлага коаксиални кабели, предназначени за работа в системи на 50 Ohm.
Оптимално овладяване на процеса с плазмена технология
Процесите с плазмена технология имат поведението на комплексен променлив товар, който трябва да се компенсира постоянно от генератора. Това се извършва от активните адаптиращи мрежи, така наречените Matchbox, които осигуряват постоянно адаптиране към оптималния импеданс 50 Ohm. Така се получава перфектно съгласувано системно решение, RF системата TRUMPF. С помощта на различни интерфейси, включително EtherCAT, можете много лесно да интегрирате генератора и Matchbox във Вашата съществуваща среда на процеса и да постигнете оптимално системно решение с помощта на интелигентна връзка генератор-Matchbox, така наречения SystemPort.
Възможни са отклонения от този продуктов асортимент и от тези данни в зависимост от държавата. Запазваме си правото на изменения в технологията, оборудването, цената или предложението за окомплектоване. Моля, свържете се с Вашия местен търговски представител, за да научите дали продуктът се предлага във Вашата страна.
