Устойчив и високопроизводителен, базиран на полупроводници плазмен генератор за най-висока плътност на плазмата и изисквания на процеса
Генераторите от серията TruPlasma MW са базирани на полупроводникова технология и постигат значително по-висока честотна точност от магнетронните микровълнови генератори. Иновативната концепция на платформата може да реализира най-високата плътност на плазмата и много високи изисквания на процеса по ефективен и икономичен начин. Модулната конструкция позволява и прецизно мащабиране на изходната мощност. Електрическото захранване остава стабилно по всяко време, без да се влошава качеството на процеса. Серията TruPlasma MW осигурява най-добри резултати и най-висока надеждност при производството на полупроводници, соларни клетки и дисплеи, благодарение на модерните функции на процеса.
Иновативното пулсиране в наносекундния диапазон позволява най-добър контрол на плазмения процес.
Автоматичното регулиране на честотата гарантира оптимален резултат от процеса и висока възпроизводимост.
В многоантенните системи различните генератори могат да работят фазово-синхронно и импулсно. Чрез промяна на фазовите референции между отделните генератори може да се постигне хомогенност на плазмата в голям мащаб.
Разчитайте на функцията на генератора – дори в случай на несъответствие, качеството на процеса няма да бъде засегнато.
Възползвайте се от изключително точна цифрова честотна модулация, която осигурява повтаряеми резултати от процеса, най-високо качество на слоевете и производителност.
Цифровото място за свързване EtherCat Ви позволява да управлявате устройството много бързо в рамките на една милисекунда. Това позволява прецизно разпределение на плазмата.
Производство на соларни клетки
В областта на фотоволтаиката се използват плазмени процеси като разпрашаване или PECVD за отлагане и отстраняване на материали. Генераторите от серията TruPlasma MW могат бързо да се адаптират към различните процеси и да гарантират висока производителност и първокласни резултати. Благодарение на прецизното отчитане на енергията най-добрите резултати се постигат дори и при най-модерните и взискателни приложения. В същото време високопрецизното регулиране на мощността позволява най-добрата повтаряемост между отделните пластини.
Производство на полупроводници
Плазмените генератори се използват за широк спектър от плазмени процеси в производството на полупроводници – от сухо ецване до изтегляне на зони при производството на силиций. Нашата серия TruPlasma MW предлага оптимизирани захранвания за всички тези процеси
Покритие на плоски екрани
Когато става въпрос за нанасяне на покрития върху плоски екрани, нашите генератори TruPlasma MW показват силата си при плазмени процеси като PECVD, ALD и RIE.
Възможни са отклонения от този продуктов асортимент и от тези данни в зависимост от държавата. Запазваме си правото на изменения в технологията, оборудването, цената или предложението за окомплектоване. Моля, свържете се с Вашия местен търговски представител, за да научите дали продуктът се предлага във Вашата страна.
