TruPlasma Bipolar серия 4000 (G2)

Продуктът не може да бъде показан сега

Моля, опитайте отново по-късно.

Whitepaper_ Shape matters - Bipolar sputtering

PDF - 683 KB

Зависи от формата: двуполярно разпрашаване

В тази статия са представени две характеристики на двуполярните електрически захранвания: (i) широк честотен диапазон на импулсите от до 100 kHz и (ii) допълнително време на изключване между положителната и отрицателната полувълна на правоъгълната форма на вълната на тока и напрежението.

PDF - 942 KB

Синусоида или правоъгълник

От въвеждането на двойното магнетронно разпрашаване (DMS) за високоизолиращи слоеве съществува избор между square wave pulse (правоъгълен импулс) и електрическо захранване sine wave (синусоидална вълна).