TruPlasma RF серия 1000/3000 (G2/13)

Продуктът не може да бъде показан сега

Моля, опитайте отново по-късно.

PDF - 806 KB

Auto Frequency Tuning

Контрамярка срещу бързите колебания в диапазона на импеданса на плазмата е автоматичната настройка на честотата, при която RF генераторът настройва своето основно колебание във времева рамка от по-малко от милисекунда, на стойност на честотата с по-добра адаптация.

PDF - 845 KB

Прецизност в обработката

Непрекъснатите подобрения в процесите на производство на полупроводници са предпоставка за гарантирането на постоянно намаляване на размера. Това от своя страна изисква RF генератори, които предоставят все по-високо качество на сигнала по отношение на изходната мощност и времева разделителна способност.