Lands-/region- och språkval
TRUMPF Laser Amplifier för tillverkning av högeffektschip
CO2-laser

TRUMPF Laser Amplifier

Med laserpulsen levereras grunderna för tillverkningen av framtidens mikrochip.

Till kontakten

EUV-litografi som grunden till den digitala tidsåldern

EUV-litografi vinner kampen om tillverkningsmetoder för framtidens mikrochip. Under många år har halvledarindustrin sökt efter en kostnadseffektiv massproduktionsprocess för att kunna exponera ännu mindre strukturer på kiselskivor. ASML, Zeiss och TRUMPF har förenat sina krafter för att utveckla en teknologi för att producera extremt ultraviolett ljus (EUV) med en våglängd på 13,5 nanometer för industriell användning: I en vakuumkammare skjuter en droppgenerator 50 000 mycket små tenndroppar per sekund. Var och en av dessa droppar träffas av en av de 50 000 laserpulserna och förvandlar dem till plasma. Därmed uppstår EUV-ljus, som med hjälp av speglar leds till skivan som ska exponeras. Laserpulsen för plasmastrålningen levereras av ett pulserbart CO2-lasersystem som utvecklats av TRUMPF – TRUMPF Laser Amplifier.

Från några få watt till 40 kilowatt

TRUMPF Laser Amplifier förstärker en laserpuls sekventiellt med mer än 10 000 gånger.

Effektiv och processäker

Genom att sända ut en för- och en huvudpuls kan laserförstärkarens fullständiga effekt överföras till tenndropparna.

Ny användning för CO2-lasern

Baserat på högeffektslasersystem används en CO2-laser i kontinuerlig drift. Därmed skapar TRUMPF ett nytt användningsområde för teknologin.

Stort nätverk av specialister

Under många år har det nära samarbetet mellan TRUMPF, ASML och ZEISS utvecklat EUV-teknologin till industriell standard.

delar

... innehåller en Laser Amplifier.

meter

... kablar är monterade i systemet.

kilo

... är totalvikten.

Centrala komponenter i TRUMPF Laser Amplifiers

Dessa teman kan kanske också intressera dig

Artikelsamling för EUV-litografi
I mediernas spegel: EUV-litografi

Ta reda på mer om temat EUV-litografi i våra höjdpunktsartiklar i fackpressen och den publika pressen.

Chips tillverkat med TRUMPF Laser Amplifier
EUV-litografi

Utan extremt ultraviolett ljus – inga moderna datorchips. Vilken roll CO2högeffektslasersystem från TRUMPF har när det gäller att skapa halvledarstrukturer kan du läsa om här.

Visuell elektronik
Elektronik

Från laserbearbetning till kristallodling: TRUMPF levererar grundteknologin för tillverkning av effektiva halvledare till elektronikbranschen.

Kontakt
Service och kontakt