You have selected Sverige. Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Plasmageneratorer | TRUMPF
Teknikbild likströms-plasmagenerator

Plasmageneratorer

Plasmageneratorer från TRUMPF Hüttinger levererar nödvändig processenergi för många högteknologiska industrier och möjliggör därmed funktionell beläggning av solceller och mikrochips, beläggning av stora ytor på arkitekturglas och tillverkning av halvledarelement och plattskärmar. Tack vare den enastående precisionen, deras energieffektivitet och höga processtabilitet hör de till de ledande på marknaden.

MF-plasmageneratorer

Tack vare den enastående precisionen och produktiviteten är de den perfekta lösningen för många tillämpningar inom plasmaexcitering.

Likströmspulsade plasmageneratorer

Likströmspulsade plasmageneratorer från TRUMPF Hüttinger är perfekt lämpade för användning inom många reaktiva processer.

Likströmsplasmageneratorer

Likströmsplasmageneratorer från TRUMPF Hüttinger är klassikern när det gäller plasmaexcitering.

Högfrekvens-plasmageneratorer

Det första valet för krävande tillämpningar som tillverkning av halvledarelement, mikrochips, solceller eller plattskärmar.

MF-plasmageneratorer

Bipolar-generator TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1)

Med de flexibelt formbara utgångssignalerna och sofistikerade båghanteringen levererar procesströmförsörjningen till TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) enastående resultat vid tillverkning av solceller och halvledare, vid applicering av dekorativa och slitstarka slikt samt vid beläggning av arkitekturglas. Generatorerna i den senaste generationen är utmärkta för krävande plasmaprocesser som reaktiv sputtring, PVD och PECVD.

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Med MF-generatorerna i TruPlasma Serie MF 7000 (G2) har du alltid full kontroll över processen – resultatet är enastående lagerkvaliteter och högsta produktivitet även vid krävande beläggning av stora ytor. Med verkningsgrader på över 90 % är dessa strömförsörjningar av senaste generationen dessutom extremt lönsamma i drift.

Likströmspulsade plasmageneratorer

Generator i TruPlasma Highpulse Serie 4000 G2

TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)

Procesströmförsörjningen för TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) levererar mycket korrosionsbeständiga och slitstarka hårdmaterialbeläggningar och är det främsta valet för HIPIMS-tillämpningar. Kombinerat med polariserade substrat kan TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) även fungera som halvledarapplikationer, t.ex. trenchfyllning, förbehandling av ytor och etsning.

Likströmsplasmageneratorer

Likströmsgenerator TruPlasma DC 3040

TruPlasma DC Serie 3000 (G2)

Som en ny generation av likströmsgeneratorer är TruPlasma DC Serie 3000 (G2) lämpliga för många olika DC-sputtringsprocesser. Tack vare den progressiva båghanteringen och den integrerade vattenkylningen är DC-generatorer intressanta som ett kostnadseffektivt alternativ till pulsade DC-generatorer. Den mycket kompakta konstruktionen möjliggör dessutom enkel integrering i befintliga tillämpningar.

Båggenerator i TruPlasma Arc Serie 3000

TruPlasma Arc Serie 3000

Generatorerna i TruPlasma Arc Serie 3000 imponerar framför allt vid hårdmaterialsbeläggningar och dekorativa beläggningar. Den kompakta konstruktionen och luftkylningen säkerställer optimalt nyttjande av värdefullt utrymme och integreringen i nya och befintliga system underlättas.

RF-plasmageneratorer

Generator der TruPlasma RF Air Serie

TruPlasma RF 1000 Air Serie

Den luftkylda HF-generatorn TruPlasma 1000 Air levererar upp till 1 000 watt reproducerbar HF-energi med hög precision och extremt fin upplösning – i steg om 100 mW – och är därmed lämplig för många olika plasma-tillämpningar. Oavsett om det gäller tillverkning av halvledare, solceller eller displayer – den patenterade TRUMPF Hüttinger-tekniken garanterar högsta tillgänglighet och bäst processresultat tack vare moderna processfunktioner.

HF-generator TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF Serie 1000/3000 (G2/13)

TruPlasma RF Serie 1000/3000 (G2/13) är den senaste generationens HF-generatorer. Tack vare innovativa funktioner som patenterad CombineLine-kopplingsteknik eller realtidsmätning av alla processparametrar garanteras en säker strömförsörjning även i krävande plasmaprocesser – optimala förutsättningar för reproducerbara resultat och hög produktivitet.

Högfrekvensgeneratorerna TruPlasma RF 3024/3012/3006

TruPlasma RF Serie 3000

De kraftfulla HF-generatorerna i TruPlasma RF Serie 3000 utmärker sig genom högsta effektivitet och processtabilitet. Därför är de perfekt lämpliga för krävande plasmaprocesser som till exempel används vid tillverkningen av plattskärmar, solceller eller halvledare. Anpassningsnätverk för impedansanpassning, som är exakt anpassade till generatorn, säkerställer optimal och stabil effektöverföring från generatorn till plasman.

VHF-generator Serie 3000

TruPlasma VHF Serie 3000

Högsta effekt för er process: Generatorerna i TruPlasma VHF Serie 3000 är baserade på ett innovativt plattformskoncept, som uppfyller de hårdaste processkraven. Moduldesignen som är helt vattenkyld möjliggör uteffekt upp till 80 kW – på mycket liten uppställningsyta.

RF-systemlösning: Anpassningsnätverk för maximal processtabilitet

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

De är avgörande för en optimal plasmaprocess att HF-generatorns utgångsimpedans är exakt anpassad. Detta uppnås av anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) som en länk mellan generator och process. På så sätt uppstår en enhetlig lösning för procesströmförsörjningen – TRUMPF RF-systemet.

Dessa teman kan kanske också intressera dig

Kontakt
Nikolas Hunzinger
Försäljning TRUMPF Hüttinger
E-post
Service och kontakt