Suverän hantering av krävande processer
TruPlasma DC Serie 4000 (G2) har utvecklats speciellt för reaktiv DC-sputtring med tunga material. Generatorerna som arbetar med pulsad likström har visat sig vara särskilt bra i kritiska PVD- och PECVD-processer där man dessutom kräver högsta beläggningskvalitet och produktivitet. Den kompakta DC-procesströmförsörjningen kan användas såväl i pulsat som i bias-läge – två aggregat i ett chassi.
Digital signalbearbetning garanterar stabila processer och minimala bågrelaterade tidsförluster.
Snabb båghantering kombinerat med DC-pulsteknologi minimerar skador på substraten.
Tack vare det breda frekvensspektrumet och anpassningsbar omvänd spänning.
Den integrerade vattenkylningen sparar plats och minskar underhållskostnaderna.
Hårdmaterialbeläggning
Applicering av funktionella skikt ger arbetsstycken som utsätts för hårda påfrestningar en hårdare yta och statisk friktion samt bättre termisk och kemisk stabilitet. De pulsade generatorerna i TruPlasma DC Serie 4000 (G2) försäkrar en stabil plasmaprocess och därmed för en optimal beläggningskvalitet.
Metallbeläggning
Med en PVD-process kan papperstunna lager av metall appliceras på olika material för att ge dem optimala optiska och elektriska egenskaper. En strömförsörjning som är optimalt anpassad till processparametrarna möjliggör deponering av absolut homogena skikt utan defekter.
Solcellstillverkning
För att påverka deras elektriska egenskaper beläggs solceller, men även plattskärmar och pekskärmar, med elektriskt ledande material (TCO). På grund av dess mycket låga bågenergi är de pulsade generatorerna i TruPlasma DC Serie 4000 (G2) bäst lämpade för detta.
Arkitekturglas
Beläggning av stora ytor på arkitekturglas i en PVD-plasmaprocess ställer mycket höga krav på procesströmförsörjningen. De pulsade generatorerna i TruPlasma DC Serie 4000 (G2) erbjuder perfekta förutsättningar för förstklassiga beläggningsresultat.
Hög beläggningskvalitet och produktivitet
Kombinationen av snabb båghantering och DC-pulsteknologi ger lägre andel droppar och färre ytdefekter. Processavbrott som orsakas av bågen minimeras och deponeringshastigheten ökar signifikant.
Flexibel anpassning till processen
Pulsfrekvensen kan justeras inom ett brett intervall och dessutom är det möjligt att köra DC-generatorn på bias-drift. Därmed kan samma aggregat användas för många olika användningsområden. Sofistikerade övervakningsverktyg hjälper dig att optimera processerna.
Olika tillval möjliggör en optimal anpassning av den pulsade DC-generatorn till er applikation.
Flera likströmsgeneratorer i TruPlasma DC Serie 4000 (G2) kan drivas synkront. Detta läge möjliggör synkronisering av båg-detekteringen för flera generatorer som är riktade på olika mål. Även pulsläget kan synkroniseras.
PVD Power
Den lättanvända flerspråkiga programvaran PVD Power erbjuder flera möjligheter för manövrering, konfiguration och diagnos för optimering av processkvaliteten och effektiv felsökning: visning av aktuella värden för alla relevanta processparametrar samt varning och alarm, specifikationer av nominella värden av operatören samt registrering och visualisering av viktiga driftparametrar med hög timlig upplösning (oscilloskopfunktion).
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
