Senaste generationens bipolära pulser
Procesströmförsörjningen till TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) har utvecklats speciellt för plasmastödd beläggning med PVD-, PECVD- och reaktiva sputtringsprocesser och levererar med de flexibelt formbara utgångssignalerna och sofistikerade båghanteringen enastående resultat vid tillverkning av solceller och halvledare, vid applicering av dekorativa och slitstarka slikt samt vid beläggning av arkitekturglas.
Fullständigt digital båghantering för högsta beläggningskvalitet och produktivitet.
Enkel anpassning till olika processer genom variation av utgångssignalen.
DC, pulsad DC och bipolär: kostnadsbesparingar tack vare många olika inställningsalternativ.
Behöver inte några externa komponenter och behöver därför mycket liten uppställningsplats.
Strömförsörjning i toppklass
Typiska användningsområden är halvledar- och solcellsproduktion, arkitekturglasbeläggning samt tillverkning av dekorativa skikt av högsta kvalitet. För detta används särskilt PVD- och PECVD-processerna.
Perfekta skikt, hög produktivitet.
Fullständigt digital båghantering med mycket låg bågenergi möjliggör hög beläggningskvalitet och avskiljningsgrad. Även vid mycket krävande reaktiva processer garanterar TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) alltid en jämn procesströmförsörjning och därmed ett stabilt plasmatillstånd.
Högre flexibilitet, lägre kostnader
Med hjälp av inställbara vågformer kan du enkelt anpassa generatorerna i TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) efter olika processkrav. Tack vare det flexibla valet av utgångssignaler (DC, pulsad DC eller bipolär) är de mångsidiga och bidrar därmed till att minska de totala driftskostnaderna (TCO).
Allt i ett hus
Tack vare vattenkylningen som är helt integrerad i generatorhuset som är skyddat mot påverkan från omgivningen behövs inga externa komponenter.
PVD Power
Den lättanvända flerspråkiga programvaran PVD Power erbjuder flera möjligheter för manövrering, konfiguration och diagnos för optimering av processkvaliteten och effektiv felsökning: visning av aktuella värden för alla relevanta processparametrar samt varning och alarm, specifikationer av nominella värden av operatören samt registrering och visualisering av viktiga driftparametrar med hög timlig upplösning (oscilloskopfunktion).
Genom att välja olika systemkomponenter kan den bipolära pulsgeneratorn anpassas på optimalt till systemomgivningen.
Det finns olika kabel- och kontaktutföranden för olika anslutningsstandarder att välja mellan.
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
Form har betydelse – bipolär sputtring
Sinus eller fyrkant
