Den luftkylda HF-generatorn TruPlasma 1001 Air levererar upp till 1 000 watt reproducerbar HF-energi med hög precision och extremt fin upplösning – i steg om 100 mW – och är därmed lämplig för många olika plasma-tillämpningar. Oavsett om det gäller tillverkning av halvledare, solceller eller displayer – den patenterade TRUMPF Hüttinger-tekniken garanterar högsta tillförlitlighet och bäst processresultat tack vare moderna processfunktioner.
Garanterar en optimal och mycket snabb frekvensanpassning och därmed ett optimalt samspel mellan generator och anpassningsnätverk.
Säker styrning av krävande och nya processer garanterar att dina produkter är skyddade.
Flexibel styrning av pulsformen i flera steg för bättre processresultat i moderna plasmaprocesser.
Flexibel användning och byte av generatorer möjligt vid processförändringar eller efterjusteringar.
Den patenterade CombineLine-teknologin garanterar konstant processeffekt tack vare äkta utgångsimpedans på 50 ohm.
Med olika effektklasser inom HF-produktfamiljen kan samtliga processkrav uppfyllas.
Vid processförändringar eller ändringar på systemet är det inte längre nödvändigt att anpassa kabellängden.
HF-generatorerna i TruPlasma RF 1000 Air Serie är perfekt lämpade för plasmaprocesser som RIE, ALD, PECVD och RF-sputtring. Dessa metoder används bland annat vid tillverkning av halvledarkomponenter och mikromekaniska system (MEMS) samt vid beläggning av plattskärmar och solceller.
Typiska användningsområden för TruPlasma RF Air Serie 1000 är krävande PECVD-, etsnings- och HF-sputtringsprocesser inom solcellsindustrin.
Vid tillverkning av halvledare används olika plasmaprocesser, från ablationsprocesser genom torretsning till zonsmältning vid tillverkning av rent kisel. Generatorerna i TruPlasma RF 1000 Air Serie har alla förutsättningar för en stabil strömförsörjning som är optimalt anpassad efter den aktuella processen, så att du kan uppnå enastående reproducerbara resultat.
|
TruPlasma RF 1000 – 0.6/13 Air
|
TruPlasma RF 1000 – 1/13 Air
|
|
|---|---|---|
| RF utgång | ||
| Utgångseffekt | 600 W | 1 kW |
| Märkeffekt | 600 W | 1 kW |
| Nominell belastningsimpedans | 50 Ω | 50 Ω |
| Utgångsfrekvens | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Nätanslutningsdata | ||
| Nätspänning | 110 - 240 V | 190 - 240 V |
| Nätfrekvens | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Förbrukningseffekt | 1 kVA | 1,8 kVA |
| Effektfaktor | 0,9 | 0,9 |
| Kommunikationssnittställen | ||
| Sync snittställen | Ja | Ja |
| Analog/digital | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Nej | Nej |
| EtherCAT | Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja |
| Chassi | ||
| Vikt | 15 kg | 15 kg |
| Kapslingsklass IP | 20 | 20 |
| Kylarkrav | ||
| Max. vattentryck | N/A bar | N/A bar |
| Lägsta tryckskillnad | N/A bar | N/A bar |
| Min. flödesmängd | N/A l/min | N/A l/min |
| Temperatur kylvätska | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Allmänt | ||
| Total verkningsgrad | 70 % | 70 % |
| Certifikat / standarder | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Omgivningsvillkor | ||
| Yttertemperatur | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Luftfuktighet | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometriskt tryck | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Tekniska data för alla produktvarianter för nerladdning.
Maximal produktivitet och tillgänglighet
Den flexibla, robusta designen på HF-generatorerna möjliggör en ökning av genomströmningen och en minskning av driftskostnaderna.
Stabila processer, reproducerbara resultat
Den patenterade CombineLine-teknologin med intelligent realtidsmatchning garanterar optimal tillgänglighet till TruPlasma RF 1001 Air och förhindrar tillförlitligt plasmavariationer och orenheter.
Kompakt och flexibel användning
Tack vare den kompakta konstruktionen (½-19-tums plugin-enhet) är HF-generatorn mycket utrymmesbesparande – perfekt för nyinstallationer och eftermontering i befintliga anläggningar. Integrationen är mycket enkel tack vare de många tillgängliga gränssnitten (konfigurerbara analoga gränssnitt, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT).
Med en decimals noggrannhet
Tack vare den exakta energidoseringen i steg om 100 mW kan TruPlasma RF 1001 Air även uppnå bästa resultat även i de modernaste, mest krävande tillämpningarna som atomlagerdeponering (ALD). Den mycket exakta effektregleringen av HF-generatorn garanterar bästa wafer-to-wafer-upprepningsnoggrannhet.
Bästa processresultat tack vare moderna processfunktioner.
Digitala styrningsfunktioner som Smart Auto Frequency Tuning 2.0, båghantering och flernivåspulsning möjliggör en optimal anpassning av HF-generatorn till den aktuella processen.
Flexibel anpassning till kundens tillämpning
Det finns olika effektklasser och frekvenser tillgängliga i enhetlig generatordesign, vilket möjliggör ett enkelt byte vid processförändringar. Det är inte heller nödvändigt att anpassa kabellängderna.
Styrning av hela HF-systemet via TRUMPF SystemPort
SystemPort möjliggör en sluten reglerkrets genom mätning av RF-signalen direkt vid in- och utgången från anpassningsnätverket så att HF-generatorn alltid har tillgång till samtliga mätvärden. Processparametrarna övervakas kontinuerligt, anpassningsnätverket skyddas och en tidig bågidentifiering garanteras.
Den patenterade Auto Frequency Tuning möjliggör samtidig och snabb frekvensanpassning mellan generator och anpassningsnätverk. Därmed garanteras bästa processresultat och högsta reproducerbarhet.
Den genomtänkta båghanteringen garanterar optimal kontroll över plasmaprocessen. Riktad bågdetektering ökar produktiviteten och dessutom skyddas produkt och anläggning mot skador.
De senaste plasmaprocesserna behöver högre flexibilitet under pulsdrift. Alla typer av pulsformer kan uppnås med den fritt valbara pulsdriften i flera steg. Detta leder till en ny styrningsmekanism inom plasmafysik och till förbättrade processresultat.
Synkroniseringsmodulen möjliggör flexibel och säker synkronisering av flera generatorer i komplexa plasmasystem.
TruControl Power
Det lättanvända styrprogrammet möjliggör bekväm idrifttagning och säker övervakning av HF-generatorn samt hela TRUMPF RF-system under pågående process.
Web-GUI
Den integrerade webbservern möjliggör såväl drift av HF-systemet som programvaruuppdateringar via en webbläsare.
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
