Lands-/region- och språkval
.NEW
Plasmastimulering
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF 1000 Air Serie

Noggrannhet du kan lita på

Den luftkylda HF-generatorn TruPlasma 1001 Air levererar upp till 1 000 watt reproducerbar HF-energi med hög precision och extremt fin upplösning – i steg om 100 mW – och är därmed lämplig för många olika plasma-tillämpningar. Oavsett om det gäller tillverkning av halvledare, solceller eller displayer – den patenterade TRUMPF Hüttinger-tekniken garanterar högsta tillförlitlighet och bäst processresultat tack vare moderna processfunktioner.

Smart Auto Frequency Tuning

Garanterar en optimal och mycket snabb frekvensanpassning och därmed ett optimalt samspel mellan generator och anpassningsnätverk.

Högprecisions-båghantering

Säker styrning av krävande och nya processer garanterar att dina produkter är skyddade.

Multi-Level Pulsing

Flexibel styrning av pulsformen i flera steg för bättre processresultat i moderna plasmaprocesser.

Plug & Play

Flexibel användning och byte av generatorer möjligt vid processförändringar eller efterjusteringar.

Stabila plasmaprocesser

Den patenterade CombineLine-teknologin garanterar konstant processeffekt tack vare äkta utgångsimpedans på 50 ohm.

Enhetlig generatorteknologi

Med olika effektklasser inom HF-produktfamiljen kan samtliga processkrav uppfyllas.

Oberoende av HF-kabellängden

Vid processförändringar eller ändringar på systemet är det inte längre nödvändigt att anpassa kabellängden.

Strömförsörjning i toppklass för beläggning av plattskärmar

HF-generatorerna i TruPlasma RF 1000 Air Serie är perfekt lämpade för plasmaprocesser som RIE, ALD, PECVD och RF-sputtring. Dessa metoder används bland annat vid tillverkning av halvledarkomponenter och mikromekaniska system (MEMS) samt vid beläggning av plattskärmar och solceller.

Solcellstillverkning

Typiska användningsområden för TruPlasma RF Air Serie 1000 är krävande PECVD-, etsnings- och HF-sputtringsprocesser inom solcellsindustrin.

Teknologibild för RF plasmageneratorer

Vid tillverkning av halvledare används olika plasmaprocesser, från ablationsprocesser genom torretsning till zonsmältning vid tillverkning av rent kisel. Generatorerna i TruPlasma RF 1000 Air Serie har alla förutsättningar för en stabil strömförsörjning som är optimalt anpassad efter den aktuella processen, så att du kan uppnå enastående reproducerbara resultat.

TruPlasma RF 1000 – 0.6/13 Air
TruPlasma RF 1000 – 1/13 Air
RF utgång   
Utgångseffekt 600 W 1 kW
Märkeffekt 600 W 1 kW
Nominell belastningsimpedans 50 Ω 50 Ω
Utgångsfrekvens 13,56 MHz 13,56 MHz
Nätanslutningsdata   
Nätspänning 110 - 240 V 190 - 240 V
Nätfrekvens 50-60 Hz 50-60 Hz
Förbrukningseffekt 1 kVA 1,8 kVA
Effektfaktor 0,9 0,9
Kommunikationssnittställen   
Sync snittställen Ja Ja
Analog/digital Ja Ja
RS 232 / RS 485 Ja Ja
PROFIBUS Nej Nej
EtherCAT Ja Ja
DeviceNet Ja Ja
Chassi   
Vikt 15 kg 15 kg
Kapslingsklass IP 20 20
Kylarkrav   
Max. vattentryck N/A bar N/A bar
Lägsta tryckskillnad N/A bar N/A bar
Min. flödesmängd N/A l/min N/A l/min
Temperatur kylvätska 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Allmänt   
Total verkningsgrad 70 % 70 %
Certifikat / standarder Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
Omgivningsvillkor   
Yttertemperatur 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Luftfuktighet 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometriskt tryck 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
Maximal produktivitet och tillgänglighet

Maximal produktivitet och tillgänglighet

Den flexibla, robusta designen på HF-generatorerna möjliggör en ökning av genomströmningen och en minskning av driftskostnaderna.

Patenterad CombineLine-teknologi

Stabila processer, reproducerbara resultat

Den patenterade CombineLine-teknologin med intelligent realtidsmatchning garanterar optimal tillgänglighet till TruPlasma RF 1001 Air och förhindrar tillförlitligt plasmavariationer och orenheter.

Kompakt och flexibel användning

Tack vare den kompakta konstruktionen (½-19-tums plugin-enhet) är HF-generatorn mycket utrymmesbesparande – perfekt för nyinstallationer och eftermontering i befintliga anläggningar. Integrationen är mycket enkel tack vare de många tillgängliga gränssnitten (konfigurerbara analoga gränssnitt, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT).

Perfekt för etsnings- och beläggningsprocesser

Med en decimals noggrannhet

Tack vare den exakta energidoseringen i steg om 100 mW kan TruPlasma RF 1001 Air även uppnå bästa resultat även i de modernaste, mest krävande tillämpningarna som atomlagerdeponering (ALD). Den mycket exakta effektregleringen av HF-generatorn garanterar bästa wafer-to-wafer-upprepningsnoggrannhet.

Arkitekturglas

Bästa processresultat tack vare moderna processfunktioner.

Digitala styrningsfunktioner som Smart Auto Frequency Tuning 2.0, båghantering och flernivåspulsning möjliggör en optimal anpassning av HF-generatorn till den aktuella processen.

TruPlasma RF 1003: Högfrekvensgenerator för maximal produktivitet

Flexibel anpassning till kundens tillämpning

Det finns olika effektklasser och frekvenser tillgängliga i enhetlig generatordesign, vilket möjliggör ett enkelt byte vid processförändringar. Det är inte heller nödvändigt att anpassa kabellängderna.

TruPlasma RF_Systemport

Styrning av hela HF-systemet via TRUMPF SystemPort

SystemPort möjliggör en sluten reglerkrets genom mätning av RF-signalen direkt vid in- och utgången från anpassningsnätverket så att HF-generatorn alltid har tillgång till samtliga mätvärden. Processparametrarna övervakas kontinuerligt, anpassningsnätverket skyddas och en tidig bågidentifiering garanteras.

Auto Frequency Tuning
Smart Auto Frequency Tuning (AFT)

Den patenterade Auto Frequency Tuning möjliggör samtidig och snabb frekvensanpassning mellan generator och anpassningsnätverk. Därmed garanteras bästa processresultat och högsta reproducerbarhet.

Snabb och exakt båghantering

Den genomtänkta båghanteringen garanterar optimal kontroll över plasmaprocessen. Riktad bågdetektering ökar produktiviteten och dessutom skyddas produkt och anläggning mot skador.

Multi-Level Pulsing

De senaste plasmaprocesserna behöver högre flexibilitet under pulsdrift. Alla typer av pulsformer kan uppnås med den fritt valbara pulsdriften i flera steg. Detta leder till en ny styrningsmekanism inom plasmafysik och till förbättrade processresultat.

Synkroniseringsmodul (puls, CEX, båge)

Synkroniseringsmodulen möjliggör flexibel och säker synkronisering av flera generatorer i komplexa plasmasystem.

TruControl Power

Det lättanvända styrprogrammet möjliggör bekväm idrifttagning och säker övervakning av HF-generatorn samt hela TRUMPF RF-system under pågående process.

Web-GUI

Den integrerade webbservern möjliggör såväl drift av HF-systemet som programvaruuppdateringar via en webbläsare.

Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.

Whitepaper

Precision i bearbetningen

Nerladdning av Whitepaper




Whitepaper

Autofrekvens-tuning

Nerladdning av Whitepaper




Dessa teman kan kanske också intressera dig

Kontakt
Nikolas Hunzinger
Försäljning TRUMPF Hüttinger
E-post
Services
Service avtal Ta reda på mer Technical Service Ta reda på mer Training courses Ta reda på mer Orginaldelar Ta reda på mer
Nerladdningar
Service och kontakt