Robust och kraftfull Solid State Power-plasmagenerator för mycket stora plasmatätheter och högt ställda processkrav
Generatorerna i TruPlasma MW-serien är baserade på Solid State-tekniken och uppnår en betydligt högre frekvensnoggrannhet än magnetronbaserade mikrovågsgeneratorer. Med det innovativa plattformskonceptet kan mycket stora plasmatätheter realiseras och även mycket högt ställda processkrav uppfyllas effektivt och ekonomiskt. Den modulära uppbyggnaden möjliggör dessutom en noggrann skalinställning av utgångseffekten. Strömförsörjningen förblir hela tiden stabil utan att processkvaliteten på något vis försämras. I tillverkningen av halvledare, solceller och displayer erbjuder TruPlasma MW-serien toppresultat och högsta tillförlitlighet tack vare moderna processfunktioner.
Genom automatisk frekvensanpassning garanteras optimalt processresultat och hög reproducerbarhet.
I flerantennsystem kan olika generatorer drivas och pulseras fassynkront. Genom variering av fasreferenserna mellan de enskilda generatorerna kan plasmahomogenitet över en stor yta uppnås.
Du kan lita på generatorns funktion – inte ens vid felanpassning försämras processkvaliteten.
Utnyttja fördelarna med extremt noggrann, digital frekvensmodulering som ger reproducerbara processresultat, högsta skiktkvalitet och produktivitet.
Med hjälp av det digitala gränssnittet EtherCat kan du styra enheten mycket snabbt inom en millisekund. Detta möjliggör en noggrann plasmafördelning.
Tillverkning av solceller
Inom fotovoltaik används plasmaprocesser som sputtning eller PECVD för materialapplicering och -borttagning. Generatorerna i TruPlasma MW-serien kan snabbt anpassas till de olika processerna och garanterar hög produktivitet samt förstklassiga processresultat. Tack vare den noggranna energidoseringen uppnås toppresultat även i de modernaste och mest krävande tillämpningarna. Samtidigt möjliggör den extremt noggranna effektregleringen mycket god wafer-to-wafer-reproducerbarhet.
Tillverkning av halvledare
Plasmageneratorer används för vitt skilda plasmaprocesser vid tillverkning av halvledare – från torretsning till zondragning vid tillverkning av kisel. Vår TruPlasma MW-serie erbjuder optimerad strömförsörjning för alla dessa processer
Beläggning av plattskärmar
Vid beläggning av plattskärmar kommer våra generatorer i TruPlasma MW-serien till sin fulla rätt i plasmaprocesser som PECVD, ALD och RIE.
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
