Båghantering

Utmaningen:
Hög deponeringshastighet och enastående skiktkvaliteter – det är de avgörande kvalitetskraven vid plasmastödda beläggningsprocesser som exempelvis vid tillverkningen av solceller eller beläggningen av platta bildskärmar. Plasmabeläggningen kan dock störas av elektriska överslag eller bågurladdningar, så kallade arcs. Den använda strömförsörjningen måste därför snabbt kunna identifiera och reagera på en bågurladdning (arc). Lösningen:
Våra plasmageneratorer är utrustade med ett&nbps;arc-hanteringssystem som är anpassat efter de individuella kraven. De möjliggör mycket snabb arc-identifiering, genom vilken generatorn kan reagera snabbt och exakt på arcs. Arc-hanteringen sker genom en kort avstängning av uteffekten varvid urladdningen avbryts. När generatorn startas om kontrolleras att glödurladdningen fungerar korrekt.