Generátory plazmy

Generátory plazmy série TruPlasma MW založené na solid-state sa skladajú z inovačného platformového konceptu a generujú maximálne hustoty plazmy pre náročné požiadavky procesov. Vďaka nanopulzom je možné pre požadované použitie optimálne nastaviť rôzne parametre plazmy.

Zdroje procesného prúdu TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) podávajú pomocou flexibilne tvarovateľných výstupných signálov a premysleného Arc manažmentu excelentné výsledky pri výrobe solárnych článkov a polovodičov, pri nanášaní dekoratívnych a opotrebovaniu odolných vrstiev ako aj pri nanášaní vrstiev na povrch architektonického skla. Generátory najnovšej generácie sa vynikajúco hodia na náročné procesy plazmy ako napríklad reaktívne pokovovanie rozprašovaním, PVD a PECVD.

Pomocou SF generátorov TruPlasma Série MF 7000 (G2) budete mať stále kontrolu nad Vašimi procesmi – výsledkom je vynikajúca kvalita vrstiev a najvyššia produktivita aj pri náročných, veľkoplošných aplikáciách nanášania vrstiev. Pri špičkových účinnostiach viac ako 90% sú tieto zdroje prúdu najnovšej generácie zároveň mimoriadne hospodárne pri používaní.

Zdroje procesného prúdu zariadenia TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) vytvárajú povrchové úpravy vytvrdzujúce povrch mimoriadne odolné korózii a opotrebovaniu a sú uprednostňované pri aplikáciách HIPIMS. V kombinácii s polarizovanými substrátmi môže TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) obsluhovať aj polovodičové aplikácie, ako napr. Trench-Filling, predúpravu povrchu a leptanie.

TruPlasma DC Série 4000 (G2) spája excelentnú manipuláciu s Arc od firmy TRUMPF Hüttinger s výhodami DC pulznej technológie. Tak dosiahnete lepšie výsledky nanášania materiálu s menšou mierou defektov súčasne pri vyššej miere separácie. Výsledkom sú brilantné povrchy a vysoká výkonnosť výroby.

Ako nová generácia jednosmerných generátorov je TruPlasma DC Série 3000 (G2) vhodná na množstvo procesov DC pokovovania rozprašovaním. Vďaka pokrokovému Arc manažmentu a integrovanému chladeniu vodou sú DC generátory zaujímavé aj ako cenovo výhodná alternatíva k pulzným DC generátorom. Veľmi kompaktná konštrukcia okrem toho umožňuje jednoduchú integráciu do jestvujúcich aplikácií.

Generátory pre TruPlasma Arc Série 3000 sú vhodné najmä na tvrdené a dekoratívne povrchové úpravy. Vďaka svojej kompaktnej konštrukcii a chladeniu vzduchom je zabezpečené optimálne využitie cennej úžitkovej plochy a zjednodušená integrácia do nových alebo jestvujúcich systémov.

Vzduchom chladený vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 1001 Air dodáva až do 1000 W vysoko presnú, opakovateľnú VF energiu s extrémne jemným rozlíšením – v krokoch po 100 mW – vďaka čomu je vhodný pre najrôznejšie aplikácie plazmy. Či už pri výrobe polovodičov, solárnych článkov alebo displejov – firmou TRUMPF Hüttinger patentovaná technológia garantuje všade najvyššiu pohotovosť a najlepšie výsledky procesu vďaka moderným funkciám procesu.

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sú VF generátory najnovšej generácie. Vďaka inovatívnej funkcii akou je patentovaná technológia väzby CombineLine alebo meranie všetkých parametrov procesu v reálnom čase je garantované bezpečné napájanie prúdom aj v náročných procesoch plazmy – optimálne predpoklady pre opakovateľné výsledky a vyššou produktivitu.

Výkonné VF generátory TruPlasma RF Série 3000 sa vyznačujú najvyššou efektivitou a stabilitou procesu. Sú preto ideálne pre náročné plazmové procesy, aké sa používajú napríklad pri výrobe plochých obrazoviek, solárnych článkov alebo polovodičov. Adaptačné sieťové systémy na nastavenie impedancie vyladené presne na generátor sa neustále starajú o optimálny a stabilný prenos výkonu z generátora k plazme.

Najvyšší výkon pre Váš proces: Generátory TruPlasma VHF Séria 3000 sú vytvorené na základe inovatívnej koncepcie platformy, ktorá spĺňa aj najnáročnejšie požiadavky procesov. Stavebnicová a len vodou chladená konštrukcia VHF generátorov umožňuje zmenu výstupného výkonu až na 80 kW – a to v minimálnom priestore!

Na optimálne riadenie procesu plazmy je vhodné presné nastavenie výstupnej impedancie VF generátora. Vykonávajú to adaptačné sieťové systémy TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) ako spojovací člen medzi generátorom a procesom. Týmto spôsobom vzniká komplexné riešenie pre Vaše napájanie procesným prúdom – TRUMPF RF systém.