Vzduchom chladený vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 1001 Air dodáva až do 1000 W vysoko presnú, opakovateľnú VF energiu s extrémne jemným rozlíšením – v krokoch po 100 mW – vďaka čomu je vhodný pre najrôznejšie aplikácie plazmy. Či už pri výrobe polovodičov, solárnych článkov alebo displejov – firmou TRUMPF Hüttinger patentovaná technológia garantuje všade najvyššiu spoľahlivosť a najlepšie výsledky procesu vďaka moderným funkciám procesu.
Garantuje optimálne a vemi rýchle prispôsobenie frekvencie a vďaka tomu optimálnu súhru medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom.
Bezpečné riadenie náročných a novodobých procesov garantuje ochranu Vášho produktu.
Viac stupňové, flexibilné riadenie tvaru pulzu pre lepšie výsledky procesu v moderných procesoch plazmy.
Možnosť flexibilného použitia a výmeny generátorov pri zmenách procesu alebo pri dodatočnej montáži.
Patentovaná technológia CombineLine garantuje rovnomerný výkon procesov vďaka skutočnej výstupnej impedancii 50 Ohm.
Pomocou rôznych tried výkonov v rámci skupiny produktov je možné pokryť všetky požiadavky procesov.
V prípade zmien procesov alebo pri zmenách v systéme už nie je potrebná úprava dĺžok káblov.
VF generátory TruPlasma RF Air Série 1000 sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri výrobe polovodičových prvkov a mikromechanických systémov (MEMS) ako aj pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.
Typické oblasti použitia TruPlasma RF Air Série 1000 sú pri náročných procesoch PECVD, leptania a VF pokovovania rozprašovaním v solárnom priemysle.
Pri výrobe polovodičov sa používajú rôzne procesy plazmy, od procesov úberu materiálu cez suché leptanie až po ťahanie zóny pri výrobe čistého kremíka. Generátory zariadenia TruPlasma RF Air Série 1000 poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.
Maximálna produktivita a pohotovosť
Flexibilná, robustná konštrukcia VF generátorov umožňuje nárast výrobných kapacít a zníženie prevádzkových nákladov.
Stabilné procesy, opakovateľné výsledky
Patentovaná technológia CombineLine s inteligentným párovaním v reálnom čase garantuje optimálnu pohotovosť zariadenia TruPlasma RF 1001 Air a spoľahlivo zabraňuje výkyvom plazmy a znečisteniu.
Kompaktné a flexibilne použiteľné
Vďaka kompaktnej konštrukcii (½-19 palcový zásuv) je VF generátor veľmi priestorov úsporný - ideálny pri nových inštaláciách a ako riešenie pri dodatočnej montáži do jestvujúcich zariadení. Integrácia je veľmi jednoduchá vďaka početným dostupný rozhraniam (konfigurovateľné analógové rozhranie, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT).
Na desatiny presne
Vďaka presnému dávkovaniu energie v krokoch po 100 mW je možné dosiahnuť pomocou TruPlasma RF 1001 Air najlepšie výsledky aj v najmodernejších, najnáročnejších aplikáciách ako ALD. Vysoko presná regulácia výkonu VF generátora garantuje najlepšiu opakovateľnosť vo vrstvách (wafer-to-wafer).
Najlepšie výsledky procesov vďaka moderným funkciám procesu
Digitálne funkcie riadenia ako Smart Auto Frequency Tuning 2.0, Arc manažment a Multi-Level pulsing umožňujú optimálne nastavenie VF generátora podľa konkrétneho procesu.
Flexibilné prispôsobenie podľa aplikácie zákazníka
Dostupné sú rôzne výkonové triedy a frekvencie v jednotnej konštrukcii generátora, preto je možná veľmi jednoduchá výmena v prípade zmien procesu. Nie je už potrebná ani úprava dĺžky kábla.
Ovládanie kompletného VF systému cez TRUMPF SystemPort
SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému, vďaka čomu má VF generátor stále k dispozícii všetky namerané hodnoty. Parametre procesu sú plynulo sledované, adaptačný sieťový systém je chránený a zaručené je včasné rozpoznanie Arc.
Modul synchronizácie umožňuje flexibilnú a bezpečnú synchronizáciu viacerých generátorov v zložitých systémoch plazmy.
Premyslený Arc manažment zaručuje optimálnu kontrolu procesu plazmy. Vďaka cielenému rozpoznaniu Arc narastá produktivita, zároveň je produkt a zariadenie chránené pred poškodením.
Najnovšie procesy plazmy potrebujú viac flexibility pri impulznej prevádzke. Každý druh tvaru pulzu je možné dosiahnuť pomocou viac stupňovej, voľne voliteľnej impulznej prevádzky. Vedie to k novému mechanizmu ovládania vo fyzike plazmy a k lepším výsledkom procesov.
Patentovaný Auto Freuquency Tuning umožňuje simultánne a rýchle nastavenie frekvencie medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox). Tým sú garantované najlepšie výsledky procesov a najvyššia opakovateľnosť.
Web-GUI
Integrovaný webserver umožňuje tak prevádzku VF systému ako aj aktualizácie softvéru prostredníctvom internetového prehliadača.
TruControl Power
Riadiaci softvér príjemný na obsluhu umožňuje komfortné uvedenie do prevádzky a bezpečné sledovanie VF generátora resp. celého TRUMPF RF systému počas priebehu procesu.
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
