Výkonný a robustný výkonový solid-state generátor plazmy pre maximálne hustoty plazmy a požiadavky procesov
Generátory série TruPlasma MW sú založené na technológii solid-state a dosahujú podstatne vyššiu presnosť frekvencií než mikrovlnné generátory založené na magnetróne. Inovačná platformová koncepcia dokáže efektívne a hospodárne vytvárať maximálne hustoty plazmy a dokonca aj vysoko náročné požiadavky procesov. Modulárne usporiadanie navyše umožňuje presné nastavenie výstupného výkonu. Elektrické napájanie pritom zostáva kedykoľvek stabilné, bez akéhokoľvek negatívneho ovplyvnenia kvality procesu. Séria TruPlasma MW tak vďaka moderným funkciám procesov prispieva pri výrobe polovodičov, solárnych článkov a displejov k tým najlepším výsledkom a maximálnej spoľahlivosti.
Automatické prispôsobenie frekvencie garantuje optimálny výsledok procesu a vysokú opakovateľnosť.
V systémoch s viacerými anténami môžete prevádzkovať a pulzovať fázovo synchrónne rôzne generátory. Vďaka variácii fázových vzťahov medzi jednotlivými generátormi je možné dosiahnuť veľkoplošnú homogenitu plazmy.
Spoľahnite sa na funkciu generátora – kvalita procesu sa nezníži ani pri chybnom nastavení.
Profitujte z vysoko presnej, digitálnej frekvenčnej modulácie, ktorá prispieva k opakovateľným výsledkom procesov, maximálnej kvalite vrstiev a k produktivite.
Vďaka digitálnemu rozhraniu EtherCat môžete zariadenie veľmi rýchlo riadiť, a to v priebehu milisekundy. To umožňuje precízne rozdelenie plazmy.
Výroba solárnych článkov
V oblasti fotovoltiky sa na nanášanie a úber materiálov používajú plazmové procesy ako naprašovanie alebo PECVD. Generátory série TruPlasma MW sa dajú rýchlo prispôsobiť rôznym procesom a garantujú vysokú produktivitu, ako aj prvotriedne výsledky procesov. Vďaka presnému dávkovaniu energie dosiahnete aj pri najmodernejších a najnáročnejších aplikáciách tie najlepšie výsledky. Vysoko presná regulácia výkonu pritom umožňuje najlepšiu opakovateľnosť od doštičky k doštičke.
Výroba polovodičov
Generátory plazmy majú pri výrobe polovodičov svoje využitie v najrôznejších plazmových procesoch – os suchého leptania až po ťahanie zón pri výrobe kremíka. Naša séria TruPlasma MW ponúka optimalizované možnosti elektrického napájania pre všetky tieto procesy
Povrchová úprava plochých obrazoviek
Pri povrchovej úprave plochých obrazoviek preukazujú naše generátory TruPlasma MW svoje silné stránky v plazmových procesoch, akými sú PECVD, ALD a RIE.
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
