Celistvé RF systémové riešenie
Nové adaptačné sieťové systémy TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) predstavujú ideálny doplnok k VF generátorom firmy TRUMPF Hüttinger. Vďaka inteligentnému algoritmu párovania a digitálnej platforme riadenia na sledovanie procesu vzniká komplexné riešenie, v ktorom spolu optimálne pôsobia všetky komponenty – TRUMPF RF systém.
Rýchle, stabilné a opakovateľné nastavenie impedancie na 50 Ohm dokonca aj v kritických procesoch.
Pokrokový softvér a vylepšená komunikácia medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom.
Rýchle sledovanie systému pri každej zmene impedancie adaptačného sieťového systému a záťaže.
Optimálne sledovanie parametrov procesu ako aj včasné rozpoznanie Arc.
Grafická ovládacia plocha a efektívne nástroje (Smithov diagram, osciloskop v reálnom čase).
Výroba polovodičov, solárnych článkov a plochých obrazoviek
Pri výrobe polovodičov, solárnych článkov a plochých obrazoviek sú rozhodujúce stabilné procesy plazmy. V kombinácii s VF generátormi firmy TRUMPF Hüttinger ponúkajú adaptačné sieťové systém TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) komplexné riešenie pre najvyššiu stabilitu procesu a produktivitu.
Nanášanie vrstiev vytvrdzujúcich povrch a vrstiev chrániacich pred opotrebením
Po nanesení funkčných vrstiev získajú nadmerne namáhané obrobky zvýšenú mechanickú tvrdosť ako aj lepšiu tepelnú a chemickú stabilitu. Adaptačné sieťové systémy zariadenia TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) zabezpečujú v spolupráci s VF generátorom firmy TRUMPF Hüttinger perfektnú kvalitu nanesenej vrstvy.
Úber a povlakovanie povrchov materiálu
Adaptačné sieťové systémy zariadenia TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) je možné použiť vo všetkých bežných procesoch plazmy na nanášanie vrstiev a úber materiálu z povrchov – napríklad pri leptaní plazmou, reaktívnom ionovom leptaní, ALD, PECVD, RF pokovovaní rozprašovaním alebo fotolak-plazmovom spopolnení. V spolupráci s VF generátorom firmy TRUMPF Hüttinger sa pritom dosahujú optimálne výsledky procesu.
Perfektná kontrola procesu v ktorúkoľvek dobu
Matchbox neustále prispieva k rýchlejšiemu a priamemu nastaveniu impedancie na 50 Ohm – tým je zaručené stále plné podávanie výkonu VF generátora do procesu. Komunikácia medzi adaptačným sieťovým systémom a generátorom umožňuje optimálne sledovanie procesu a včasné rozpoznanie Arc.
Prehľad všetkých parametrov
Meranie VF vstupného a výstupného výkonu v reálnom čase signalizuje dynamické zmeny impedancie, snímače chladenia umožňujú spoľahlivé predpovedanie stratového výkonu. Vďaka grafickému ovládaciemu softvéru s komplexnými možnosťami zobrazovania (smithova tabuľka, osciloskop v reálnom čase) máte stále prehľad o všetkých podstatných parametroch procesu.
TRUMPF SystemPort
SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.
Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie TRUMPF RF systému s Vašimi aplikáciami.
Vysoko presné AC meranie prúdu na detekciu anomálií plazmy, umiestnené v adaptačnom sieťovom systéme blízko procesu, priamo na komore.
Na želanie sú k dispozícii doplnkové rozhrania ako Analóg/Digitál, PROFIBUS a EtherCAT. Štandardom je EtherNet, SystemPort a RS232/485.
Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a zariadenie.
Grafický ovládací softvér
Komplexné grafické zobrazenia umožňujú rozsiahlu kontrolu všetkých podstatných parametrov procesu. Impedancia záťaže a adaptačného sieťového systému sa zobrazuje prostredníctvom smithovho diagramu, VF vstupný a výstupný výkon vrátane polohy frekvencie a fázy pomocou osciloskopu reálneho času.
TruControl Power
Riadiaci softvér TruControl Power príjemný na obsluhu umožňuje komfortné uvedenie do prevádzky a bezpečné sledovanie VF generátora resp. celého TRUMPF RF systému počas priebehu procesu.
TRUMPF RF systém, pozostávajúci z VF generátora a adaptačného sieťového systému, tvorí perfektne vzájomne zladený celkový systém pre najlepšie výsledky procesov.
Komplexné grafické zobrazenia umožňujú rozsiahlu kontrolu všetkých podstatných parametrov procesu. Impedancia záťaže a adaptačného sieťového systému sa zobrazuje prostredníctvom smithovho diagramu, VF vstupný a výstupný výkon vrátane polohy frekvencie a fázy pomocou osciloskopu reálneho času.
Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.
VF prepínač umožňuje viacnásobné využitie VF generátora pre rôzne stanice procesov plazmy, napríklad na dodávku prúdu sekvenčných procesov alebo pri systémoch s rôznymi miestami prípojky. Dostupné sú rôzne VF prepínače vo dvoch výkonových triedach ako aj s 2, 3 alebo 4 výstupmi.
Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.
Optimálne zvládnutie procesu plazmy
Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
