Bipolárna technológia pre najvyššie nároky
Zdroje procesného prúdu TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) boli vyvinuté špeciálne pre plazmou podporované povrstvovanie pomocou procesov PVD, PECVD a reaktívnych procesov pokovovania rozprašovaním. Vďaka flexibilne tvarovateľnému výstupnému signálu a premyslenému Arc manažmentu je možné tieto bipolárne generátory najnovšej generácie použiť veľmi mnohostranne. Či už pri výrobe polovodičov a solárnych článkov alebo pri povrstvovaní architektonického skla, v každom prípade môžete očakávať najvyššie výkony vo vzťahu na kvality vrstiev a miery povrstvenia.
Úplne digitálny Arc manažment pre najvyššiu produktivitu a kvalitu vrstvy.
Jednoduché nastavenie pre rôzne procesy pomocou variácii výstupného signálu.
DC, pulzný DC a bipolár: Úspora nákladov vďaka rôznorodým možnostiam nastavenia.
Nie sú potrebné žiadne externé komponenty, preto je potrebné len veľmi malé miesto na inštaláciu.
Zdroj prúdu špičkovej triedy
Typické oblasti použitia sú výroba polovodičov a fotovoltaiky, povrstvovanie architektonického skla ako aj výroba dekoratívnych a opotrebovaniu odolných vrstiev vo vysokej kvalite. Používajú sa pritom najmä procesy PVD a PECVD.
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
Porovnanie produktu
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
Porovnanie produktu
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
Porovnanie produktu
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
Porovnanie produktu
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
Porovnanie produktu
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Výstup | |||||
| Menovitý výkon | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maximálny výstupný prúd | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maximálne výstupné napätie | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Menovitá prevádzková frekvencia | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Parametre svetelného oblúka | |||||
| Max. miera svetelného oblúka | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energia Arc | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Zápalné napätia | |||||
| so zápalnou pomôckou | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Údaje sieťového pripojenia | |||||
| Sieťové napätie | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Sieťová frekvencia | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Účinník | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Komunikačné rozhrania | |||||
| Analógové/digitálne | Áno | Áno | Áno | Áno | Áno |
| RS 232 / RS 485 | Áno | Áno | Áno | Áno | Áno |
| PROFIBUS | Áno | Áno | Áno | Áno | Áno |
| EtherCAT | Áno | Áno |
Áno
- |
Áno | Áno |
| DeviceNet | Áno | Áno |
Áno
- |
Áno | Áno |
| Teleso | |||||
| Šírka | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Výška | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Hĺbka | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Hmotnosť | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Stupeň ochrany IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Požiadavky na chladenie | |||||
| Chladiace médium | Voda | Voda | Voda | Voda | Voda |
| Max. tlak vody | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. rozdiel tlaku | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. prietokové množstvo | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Teplota chladiaceho prostriedku | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Všeobecne | |||||
| Celková účinnosť | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Podmienky okolia | |||||
| Vonkajšia teplota | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Vlhkosť vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Výstup | |||||
| Menovitý výkon | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maximálny výstupný prúd | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maximálne výstupné napätie | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Menovitá prevádzková frekvencia | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Parametre svetelného oblúka | |||||
| Max. miera svetelného oblúka | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energia Arc | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Zápalné napätia | |||||
| so zápalnou pomôckou | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Údaje sieťového pripojenia | |||||
| Sieťové napätie | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Sieťová frekvencia | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Účinník | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Komunikačné rozhrania | |||||
| Analógové/digitálne | Áno | Áno | Áno | Áno | Áno |
| RS 232 / RS 485 | Áno | Áno | Áno | Áno | Áno |
| PROFIBUS | Áno | Áno | Áno | Áno | Áno |
| EtherCAT | Áno | Áno |
Áno
- |
Áno | Áno |
| DeviceNet | Áno | Áno |
Áno
- |
Áno | Áno |
| Teleso | |||||
| Šírka | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Výška | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Hĺbka | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Hmotnosť | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Stupeň ochrany IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Požiadavky na chladenie | |||||
| Chladiace médium | Voda | Voda | Voda | Voda | Voda |
| Max. tlak vody | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. rozdiel tlaku | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. prietokové množstvo | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Teplota chladiaceho prostriedku | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Všeobecne | |||||
| Celková účinnosť | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Podmienky okolia | |||||
| Vonkajšia teplota | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Vlhkosť vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Perfektné vrstvy, vysoká produktivita
Plne digitálny Arc manažment s veľmi nízkou Arc energiou umožňuje dosahovať vysoké kvality vrstiev a miery úberu. Aj pri náročných reaktívnych procesoch zaručuje TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) stále rovnomerné napájanie procesným prúdom a tým aj stabilný stav plazmy.
Viac flexibility, minimálne náklady
Pomocou nastaviteľných tvarov vĺn môžete veľmi jednoducho nastaviť generátory TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) na rôzne požiadavky procesov. Vďaka flexibinej voľbe výstupného signálu (DC, pulzný DC alebo bipolár) sú mnohostranne použiteľné a pomáhajú znižovať Vaše celkové prevádzkové náklady (TCO).
Všetko v jednom telese
Vďaka vodnému chladeniu úplne integrovanému do telesa generátora chráneného pred vplyvmi prostredia nie sú potrebné žiadne externé komponenty.
PVD Power
Viacjazyčný softvér PVD Power nenáročný na obsluhu Vám ponúka rôzne možnosti obsluhy, konfigurácie a diagnostiky na optimalizáciu kvality procesov a odstránenie chyby: Zobrazenie skutočných hodnôt všetkých podstatných parametrov procesu ako aj výstrah a poplašných hlásení, zadanie požadovaných hodnôt operátorom, zaznamenanie a vizualizácia dôležitých prevádzkových parametrov s veľkým časovým rozkladom (funkcie osciloskopu).
Voľbou rôznych komponetov systému môžete najlepšie prispôsobiť bipolárny pulzný generátor Vášmu systémovému prostrediu.
K dispozícii sú rôzne verzie káblov a konektorov pre rôzne štandardy prípojok.
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
